微推进器点火桥阵列制作及性能研究



微推进器点火桥阵列制作及性能研究

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微推进器点火桥阵列制作及性能研究

论文目录
摘要	第1-4 页
ABSTRACT	第4-5 页
目录	第5-8 页
1 绪论	第8-13 页
· 课题背景	第8 页
· 国内外微推进器点火桥膜研究现状	第8-11 页
· 本论文研究内容	第11-13 页
2 设计思路	第13-15 页
· 桥膜设计	第13-14 页
· 点火阵列设计	第14-15 页
3 镀膜工艺研究	第15-22 页
· 实验设备与实验材料	第15-16 页
· 实验设备	第15-16 页
· 实验材料	第16 页
· 薄膜制备	第16-19 页
· 基片的制备	第16 页
· 基片的清洗	第16-19 页
· 初步清洗	第17 页
· 真空的获得	第17 页
· 离子束清洗	第17-19 页
· 磁控溅射	第19-20 页
· 磁控溅射原理	第19 页
· 磁控溅射步骤与最佳参数	第19-20 页
· 铬金属薄膜物理性质	第20-21 页
· 本章小结	第21-22 页
4 微细加工工艺研究	第22-36 页
· 微细加工工艺流程	第22 页
· 实验对环境要求	第22 页
· 曝光工艺研究	第22-27 页
· 实验设备	第22-23 页
· 实验材料	第23-25 页
· 掩模板	第23-24 页
· 光刻胶	第24-25 页
· 曝光工艺流程	第25-27 页
· 显影与坚膜	第27-28 页
· 显影	第27 页
· 坚膜	第27-28 页
· 湿法刻蚀	第28-34 页
· 铜的刻蚀	第28-31 页
· 三氯化铁溶液刻蚀铜片	第28-29 页
· 三氧化镉硫酸溶液刻蚀铜片	第29-31 页
· 铝的刻蚀	第31-33 页
· 氢氧化钠溶液刻蚀铝片	第31-32 页
· 浓磷酸刻蚀铝片	第32-33 页
· 铬的刻蚀	第33 页
· 刻蚀液对光刻胶的影响	第33-34 页
· 套刻	第34-35 页
· 本章小结	第35-36 页
5 桥膜电学性能测试	第36-44 页
· 桥膜电学性能对比	第36-42 页
· 实验仪器	第36 页
· 恒流条件下桥膜性能测试	第36 页
· 桥膜熔断时间分析	第36-38 页
· 桥膜熔断能量分析	第38-40 页
· 桥膜熔断电流—时间分析	第40-42 页
· 恒压条件下桥膜性能测试	第42-43 页
· 本章小结	第43-44 页
6 微推进器阵列结构与工艺初探	第44-47 页
· 微推进器阵列结构	第44 页
· 装药层设计	第44-45 页
· 药室层的设计和加工	第44 页
· 真空装药	第44-45 页
· 喷孔层刻蚀	第45-46 页
· 本章小结	第46-47 页
7 数学模型	第47-52 页
· 桥膜电阻点火模型	第47-51 页
· 点火模型分析	第51-52 页
8 结论	第52-53 页
致谢	第53-54 页
参考文献	第54-56 页

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