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纳米级金属薄膜厚度的SPR检测方法研究

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纳米级金属薄膜厚度的SPR检测方法研究
论文目录
 
中文摘要第1-4页
ABSTRACT第4-7页
第一章 绪论第7-15页
  · 本课题的背景及研究意义第7页
  · 薄膜厚度检测在国内外发展概况第7-13页
    · 探针测量法第8-10页
    · 高精度显微镜法第10-11页
    · 光学测量法第11-13页
  · 本文采用方法第13页
  · 本章小结第13-15页
第二章 SPR检测金属薄膜厚度的原理第15-26页
  · SPR效应原理第15-18页
    · 金属薄膜特性第15-16页
    · SPR效应第16-18页
    · SPR效应的传感结构第18页
  · 金属薄膜厚度参数分析第18-20页
    · 厚度与强度的关系第18-20页
    · 厚度与相位的关系第20页
  · 检测方案第20-25页
    · 反射光强度检测方案第21页
    · 反射光相位检测方案第21-25页
  · 本章小结第25-26页
第三章 光学系统设计第26-42页
  · 光源的选择第26-27页
  · 传感棱镜及扫描驱动系统第27-29页
  · Mach-Zehnder干涉结构元器件选择第29-33页
  · 图像采集模块第33-36页
    · 摄像机的选择第33-34页
    · 镜头的选择第34-35页
    · 图像采集卡第35-36页
  · 光学系统第36-37页
  · Mach-Zehnder干涉结构调整步骤及条纹采集结果第37-40页
  · 本章小结第40-42页
第四章 系统调试及实验结果分析第42-58页
  · 图像处理算法研究第42-47页
  · 数据处理方法研究第47-48页
  · 系统调试及实验结果第48-54页
  · 标定方案设计第54页
  · 实验结果误差分析第54-57页
    · 原理误差第55-56页
    · 光源稳频性能引起的误差第56页
    · 棱镜面型精度引起的误差第56-57页
    · 其他因素引起的误差第57页
  · 本章小结第57-58页
第五章 总结和展望第58-60页
参考文献第60-63页
发表论文和科研情况说明第63-64页
致谢第64页

本篇论文共64页,点击这进入下载页面
 
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