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低成本AZO薄膜的制备与表征
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低成本AZO薄膜的制备与表征
论文目录
 
摘要第1-5页
Abstract第5-7页
目录第7-9页
第一章 绪论第9-23页
　　· 课题背景第9-10页
　　· 透明导电氧化物薄膜概述第10-11页
　　· ZnO: Al (AZO)薄膜概述第11-15页
　　　　· ZnO 的晶体结构第11-12页
　　　　· ZnO 薄膜的光学和电学特性第12-13页
　　　　· ZnO: Al (AZO) 薄膜的光学和电学特性第13-15页
　　· AZO 薄膜国内外研究现状第15-20页
　　　　· 氧分压对 AZO 薄膜光电性能的影响第15-17页
　　　　· 种子层对 AZO 薄膜晶体结构与光电性能的影响第17-18页
　　　　· 退火对 AZO 薄膜光电性能的影响第18-20页
　　· 本文主要研究内容和创新点第20-22页
　　　　· 氧分压的控制第20-21页
　　　　· 提高低温沉积 AZO 薄膜的光电性能第21-22页
　　　　· 创新点第22页
　　· 本章小结第22-23页
第2章 AZO 薄膜的制备与表征第23-37页
　　· 实验方法简介第23-33页
　　　　· 溅射沉积原理第23-25页
　　　　· 非反应溅射第25-27页
　　　　· 反应溅射第27-28页
　　　　· 磁控溅射第28-29页
　　　　· 反应气体控制第29-33页
　　· AZO 薄膜的制备第33-34页
　　· 薄膜的表征第34-35页
　　· 本章小结第35-37页
第3章 氧分压对 AZO 薄膜的影响第37-47页
　　· 氧分压对 AZO 薄膜晶体结构的影响第37-40页
　　· 氧分压对 AZO 薄膜光电性能的影响第40-43页
　　· AZO 薄膜电学与光学性能的关联性分析第43-45页
　　· 本章小结第45-47页
第4章 ZnO 种子层对 AZO 薄膜结构和性能的影响第47-57页
　　· 制备 ZnO 种子层氧气流量的确定第47-48页
　　· ZnO 种子层对 AZO 薄膜光电性能的影响第48-49页
　　· ZnO 种子层失效分析第49-55页
　　· 本章小结第55-57页
第5章 退火对 AZO 薄膜结构和性能的影响第57-63页
　　· 退火对 AZO 薄膜结构的影响第57-58页
　　· 退火对 AZO 薄膜电学性能的影响第58-59页
　　· 退火对 AZO 薄膜光学性能的影响第59-61页
　　· 本章小结第61-63页
结论第63-65页
参考文献第65-69页
攻读硕士学位期间发表的论文第69-71页
致谢第71 页

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