激光沉积法制备SrTiO_3铁电薄膜及其性能分析



激光沉积法制备SrTiO_3铁电薄膜及其性能分析

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激光沉积法制备SrTiO_3铁电薄膜及其性能分析

论文目录
摘要	第1-5页
Abstract	第5-9页
第1章绪论	第9-19页
· 铁电材料概述和研究进展	第9-12页
· 铁电薄膜常用的制备方法	第12-15页
· 金属有机物化学气相沉积法(MOCVD)	第12页
· 溶胶一凝胶(Sol-Gel)	第12-13页
· 磁控溅射法	第13-14页
· 脉冲激光沉积法（PLD）	第14-15页
· 钛酸锶和钛酸钡薄膜的性质及研究进展	第15-18页
· 钛酸锶薄膜的性质及研究进展	第15-17页
· 钛酸钡薄膜的性质及研究进展	第17-18页
· 本论文的选题及研究目标	第18-19页
第2章实验原理与方法	第19-27页
· 钛酸锶靶材的制备及表征	第19页
· 钛酸锶薄膜的制备	第19-22页
· 实验原理	第19-20页
· 实验装置	第20-21页
· 实验过程	第21-22页
· 钛酸锶薄膜的表征	第22-27页
· X射线衍射分析（XRD）	第22-24页
· 原子力显微镜（AFM）	第24-25页
· 钛酸锶薄膜的厚度测量	第25页
· 透射谱分析	第25-26页
· X射线光电子能谱(XPS)	第26-27页
第3章钛酸锶薄膜性质与PLD生长工艺参数的关系	第27-43页
· 钛酸锶靶材	第27页
· 基片温度对钛酸锶薄膜性质的影响	第27-31页
· X射线衍射测试（XRD）	第28页
· 原子力显微镜（AFM）	第28-29页
· X射线光电子能谱分析	第29-30页
· 透射谱分析	第30-31页
· 氧分压对钛酸锶薄膜性质的影响	第31-35页
· X射线衍射测试（XRD）	第32页
· 原子力显微镜（AFM）	第32-33页
· 透射谱分析	第33-35页
· 激光功率对钛酸锶薄膜性质的影响	第35-38页
· X射线衍射测试（XRD）	第35页
· 原子力显微镜（AFM）	第35-36页
· 透射谱分析	第36-38页
· 衬底对钛酸锶薄膜性质的影响	第38-42页
· X射线衍射测试（XRD）	第38-39页
· 原子力显微镜（AFM）	第39-40页
· 透射谱分析	第40-42页
· 本章小结	第42-43页
第4章 PLD法制备钛酸钡薄膜及其特性研究	第43-49页
· 实验过程	第43页
· 钛酸钡靶材	第43-44页
· 氧分压对BTO/MgO薄膜及其特性影响的研究	第44-47页
· X射线衍射测试（XRD）	第44页
· 原子力显微镜（AFM）	第44-45页
· 透射谱分析	第45-47页
· 本章小结	第47-49页
结论	第49-51页
参考文献	第51-57页
攻读硕士学位期间发表的学术论文	第57-59页
致谢	第59页

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