论文目录 | |
| 中文摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-21页 |
| 1.1 课题研究背景及研究意义 | 第9-10页 |
| 1.2 纳米材料简介 | 第10-14页 |
| 1.2.1 纳米效应 | 第10-11页 |
| 1.2.2 SnO_2纳米材料简介 | 第11-12页 |
| 1.2.3 CuO纳米材料简介 | 第12-13页 |
| 1.2.4 碳纳米管简介 | 第13-14页 |
| 1.3 SnO_2研究现状及发展趋势 | 第14-19页 |
| 1.3.1 SnO_2气体传感器研究现状 | 第14-16页 |
| 1.3.2 SnO_2制备方法研究现状 | 第16-17页 |
| 1.3.3 掺杂SnO_2研究现状 | 第17-19页 |
| 1.4 论文研究的主要内容 | 第19-20页 |
| 1.5 本章小结 | 第20-21页 |
| 第2章 传感器的敏感机理 | 第21-30页 |
| 2.1 几种典型气敏机理 | 第21-23页 |
| 2.1.1 晶界势垒模型 | 第21-22页 |
| 2.1.2 表面空间电荷模型 | 第22页 |
| 2.1.3 吸脱附模型 | 第22页 |
| 2.1.4 氧离子化模型 | 第22-23页 |
| 2.2 金属氧化物气敏机理 | 第23-25页 |
| 2.2.1 金属氧化物薄膜理论 | 第23-24页 |
| 2.2.2 电子在金属氧化物薄膜中输运 | 第24-25页 |
| 2.3 CuO/SnO_2气敏机理 | 第25-29页 |
| 2.3.1 CuO的掺杂对薄膜电阻的影响 | 第25-26页 |
| 2.3.2 CuO/SnO_2对H_2S的机理分析 | 第26-27页 |
| 2.3.3 掺杂碳纳米管的CuO/SnO_2气敏机制 | 第27-29页 |
| 2.4 本章小结 | 第29-30页 |
| 第3章 CuO/SnO_2薄膜的制备与表征 | 第30-43页 |
| 3.1 溶胶-凝胶法 | 第30-31页 |
| 3.1.1 溶胶-凝胶法基本原理 | 第30页 |
| 3.1.2 溶胶-凝胶法制备工艺 | 第30-31页 |
| 3.1.3 溶胶-凝胶法优缺点 | 第31页 |
| 3.2 主要试剂和仪器 | 第31-32页 |
| 3.2.1 主要试剂 | 第31-32页 |
| 3.2.2 主要仪器 | 第32页 |
| 3.3 两种方法制备CuO/SnO_2薄膜 | 第32-37页 |
| 3.3.1 第一种溶胶的制备 | 第32-34页 |
| 3.3.2 第二种溶胶的制备 | 第34-35页 |
| 3.3.3 衬底预处理 | 第35-36页 |
| 3.3.4 薄膜的涂覆 | 第36-37页 |
| 3.3.5 薄膜的干燥预处理 | 第37页 |
| 3.3.6 薄膜退火 | 第37页 |
| 3.4 CuO/SnO_2薄膜表征 | 第37-42页 |
| 3.4.1 SEM分析 | 第37-40页 |
| 3.4.2 XRD分析 | 第40-42页 |
| 3.5 本章小结 | 第42-43页 |
| 第4章 掺杂碳纳米管的Cu O/SnO_2薄膜的制备与表征 | 第43-50页 |
| 4.1 主要试剂和仪器 | 第43-44页 |
| 4.1.1 主要试剂 | 第43页 |
| 4.1.2 主要仪器 | 第43-44页 |
| 4.2 碳纳米管的酸化及表征 | 第44-46页 |
| 4.2.1 碳纳米管的酸化 | 第44-45页 |
| 4.2.2 碳纳米管的SEM表征 | 第45-46页 |
| 4.2.3 碳纳米管的XRD表征 | 第46页 |
| 4.3 掺杂碳纳米管的CuO/SnO_2薄膜的制备及表征 | 第46-49页 |
| 4.3.1 掺碳纳米管的CuO/SnO_2制备过程 | 第46-48页 |
| 4.3.2 掺碳纳米管的CuO/SnO_2的SEM表征 | 第48-49页 |
| 4.3.3 掺碳纳米管的CuO/SnO_2的XRD表征 | 第49页 |
| 4.4 本章小结 | 第49-50页 |
| 第5章 CuO/SnO_2薄膜气敏测试 | 第50-61页 |
| 5.1 气敏元件的制备 | 第50-51页 |
| 5.2 气敏测试系统 | 第51-52页 |
| 5.3 气敏元件的测试参数 | 第52-54页 |
| 5.3.1 灵敏度 | 第52-53页 |
| 5.3.2 最佳工作温度 | 第53页 |
| 5.3.3 气体选择性 | 第53页 |
| 5.3.4 响应和恢复时间 | 第53-54页 |
| 5.4 气敏性能测试 | 第54-60页 |
| 5.4.1 各种气敏材料初始电阻 | 第54页 |
| 5.4.2 最佳工作温度测试 | 第54-55页 |
| 5.4.3 掺杂CuO的SnO_2气敏性能测试 | 第55-56页 |
| 5.4.4 掺杂碳纳米管的CuO/SnO_2气敏性能测试 | 第56-57页 |
| 5.4.5 碳纳米管超声分散对气敏性能的影响 | 第57-58页 |
| 5.4.6 掺杂碳纳米管的CuO/SnO_2气体选择性测试 | 第58-59页 |
| 5.4.7 掺杂碳纳米管的CuO/SnO_2响应和恢复时间的测试 | 第59-60页 |
| 5.5 本章小结 | 第60-61页 |
| 结论 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-70页 |
| 致谢 | 第70页 |
