MEMS微观摩擦磨损测试装置研制
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MEMS微观摩擦磨损测试装置研制
论文目录
致谢
第1-5页
摘要
第5-6页
Abstract
第6-8页
目录
第8-10页
Contents
第10-12页
图清单
第12-17页
表清单
第17-18页
变量注释表
第18-19页
1 绪论
第19-31页
· 课题的背景与来源
第19-23页
· 微观摩擦磨损测试装置的研究现状
第23-29页
· 本文的研究目的和意义
第29-30页
· 本文的主要研究内容
第30-31页
2 测试装置的总体设计
第31-39页
· 测试装置的设计要求
第31-32页
· 摩擦力测量原理
第32-33页
· 测试装置的结构设计
第33-37页
· 本章小结
第37-39页
3 微力测量单元设计
第39-59页
· 测力悬臂结构
第39-40页
· 周向弹性敏感元件
第40-48页
· 纵向弹性敏感元件
第48-56页
· 试件
第56-57页
· 本章小结
第57-59页
4 回转运动的速度控制系统
第59-70页
· 无刷直流电机的选用
第59-60页
· 电机驱动电路
第60-63页
· 电机转子位置检测
第63-66页
· 电机控制程序设计与转速标定
第66-69页
· 本章小结
第69-70页
5 传感器与数据采集
第70-76页
· 激光位移传感器
第70-71页
· 光斑位置探测器与压电致动器
第71-75页
· 本章小结
第75-76页
6 系统静态特性和测试分析
第76-86页
· 摩擦盘端面跳动检测
第76-78页
· 纵向弹性敏感元件标定
第78-80页
· 测试装置静态特性分析
第80-84页
· 实验测试分析
第84-85页
· 本章小结
第85-86页
7 结论和展望
第86-88页
· 结论
第86页
· 展望
第86-88页
参考文献
第88-92页
附录
第92-102页
作者简历
第102-104页
学位论文数据集
第104 页
本篇论文共
104
页,
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