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微型零件在线检测系统的研究

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微型零件在线检测系统的研究
论文目录
 
第一章 前言第13-17 页
  · 问题的引入第13-14 页
  · 国内外研究状况分析第14-15 页
  · 本课题的研究内容及意义第15-17 页
第二章 显微测量理论及系统总体设计第17-22 页
  · 小尺寸测量第17-19 页
  · 本课题显微测量系统的构成第19-22 页
第三章 光学系统的设计第22-31 页
  · 显微镜成像原理及其特征第22 页
  · 显微镜的光学特性第22-26 页
  · 显微物镜第26-27 页
  · 显微镜的照明系统第27-29 页
  · 本课题显微系统的设计第29-31 页
第四章 图像的输入及输出设计第31-39 页
  · 摄像器件第31-34 页
  · 摄像机第34-36 页
  · 图像采集卡第36-37 页
  · 图像输出第37-38 页
  · 图像存储第38-39 页
第五章 显微图像的处理和检测第39-67 页
  · 图像处理基础第39-46 页
  · 模式识别第46-48 页
  · Visual Basic图像处理基础第48-50 页
  · 半导体芯片电路线宽测量第50-61 页
  · 半导体芯片上定位标志的模式识别第61-64 页
  · DVD光学读取头音圈马达驱动下的微小位移测量第64-65 页
  · 显微测量系统的标定第65-67 页
第六章 实验验证及精度分析第67-75 页
  · 误差分析概述第67-69 页
  · 标准件标定时的重复性实验第69-71 页
  · 芯片电路线宽测量误差分析第71-73 页
  · 芯片电路线宽测量误差合成第73-75 页
第七章 结束语第75-77 页
  · 总结第75 页
  · 后续工作的意见第75-77 页
参考文献第77-79页

本篇论文共79页,点击这进入下载页面
 
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