含氨基酸酰胺类缓蚀剂的合成及性能评价
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含氨基酸酰胺类缓蚀剂的合成及性能评价
论文目录
摘要
第1-4页
Abstract
第4-8页
第1章 绪论
第8-17页
· 研究背景及意义
第8-9页
· 缓蚀剂概述
第9-13页
· 缓蚀剂定义
第9页
· 缓蚀剂的分类
第9页
· 缓蚀剂的研究方法
第9-13页
· 本课题研究进展
第13-15页
· 本课题问题的提出
第15页
· 本课题的研究内容
第15-17页
第2章 实验技术与方法
第17-23页
· 实验药品及仪器
第17页
· 实验药品
第17页
· 实验仪器
第17页
· 实验内容
第17-22页
· 试验材料及其处理方法
第17-18页
· 腐蚀介质的配制
第18页
· 失重法评价
第18页
· 电化学方法
第18-19页
· 表面形貌观察
第19页
· X射线光电子能谱分析
第19-20页
· 吸附热力学研究
第20页
· 理论计算
第20-22页
· 本章小结
第22-23页
第3章 甘氨酸衍生物的合成及性能评价
第23-37页
· 引言
第23页
· 甘氨酸衍生物的合成
第23-26页
· 实验仪器与药品
第23-24页
· 合成步骤
第24-25页
· 产物结构
第25-26页
· 甘氨酸及其衍生物性能评价
第26-35页
· 失重测试结果与讨论
第26页
· 电化学方法测试结果与讨论
第26-30页
· 缓蚀表面形貌观察及讨论
第30-31页
· X射线光电子能谱结果及讨论
第31-32页
· 吸附热力学研究
第32-33页
· 量子化学计算
第33-35页
· 本章小结
第35-37页
第4章 蛋氨酸衍生物的合成及性能评价
第37-51页
· 引言
第37页
· 蛋氨酸衍生物的合成
第37-40页
· 实验仪器与药品
第37-38页
· 合成步骤
第38-39页
· 产物结构
第39-40页
· 蛋氨酸及其衍生物性能评价
第40-49页
· 失重测试结果与讨论
第40-41页
· 电化学方法测试结果与讨论
第41-44页
· 缓蚀表面形貌观察及讨论
第44-45页
· X射线光电子能谱结果及讨论
第45-46页
· 吸附热力学研究
第46-47页
· 量子化学计算
第47-49页
· 本章小结
第49-51页
第5章 组氨酸二聚体的合成及性能评价
第51-65页
· 引言
第51页
· 组氨酸二聚体的合成
第51-54页
· 实验仪器与药品
第51-52页
· 合成步骤
第52-53页
· 产物结构
第53-54页
· 组氨酸及其二聚体性能评价
第54-63页
· 失重测试结果与讨论
第54页
· 电化学方法测试结果与讨论
第54-58页
· 缓蚀表面形貌观察及讨论
第58-59页
· X射线光电子能谱结果及讨论
第59-60页
· 吸附热力学研究
第60页
· 量子化学计算
第60-63页
· 本章小结
第63-65页
第6章 结论与建议
第65-67页
· 结论
第65-66页
· 展望
第66-67页
致谢
第67-68页
参考文献
第68-73页
攻读硕士期间发表的论文及科研成果
第73页
本篇论文共
73
页,
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