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含氨基酸酰胺类缓蚀剂的合成及性能评价

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含氨基酸酰胺类缓蚀剂的合成及性能评价
论文目录
 
摘要第1-4页
Abstract第4-8页
第1章 绪论第8-17页
  · 研究背景及意义第8-9页
  · 缓蚀剂概述第9-13页
    · 缓蚀剂定义第9页
    · 缓蚀剂的分类第9页
    · 缓蚀剂的研究方法第9-13页
  · 本课题研究进展第13-15页
  · 本课题问题的提出第15页
  · 本课题的研究内容第15-17页
第2章 实验技术与方法第17-23页
  · 实验药品及仪器第17页
    · 实验药品第17页
    · 实验仪器第17页
  · 实验内容第17-22页
    · 试验材料及其处理方法第17-18页
    · 腐蚀介质的配制第18页
    · 失重法评价第18页
    · 电化学方法第18-19页
    · 表面形貌观察第19页
    · X射线光电子能谱分析第19-20页
    · 吸附热力学研究第20页
    · 理论计算第20-22页
  · 本章小结第22-23页
第3章 甘氨酸衍生物的合成及性能评价第23-37页
  · 引言第23页
  · 甘氨酸衍生物的合成第23-26页
    · 实验仪器与药品第23-24页
    · 合成步骤第24-25页
    · 产物结构第25-26页
  · 甘氨酸及其衍生物性能评价第26-35页
    · 失重测试结果与讨论第26页
    · 电化学方法测试结果与讨论第26-30页
    · 缓蚀表面形貌观察及讨论第30-31页
    · X射线光电子能谱结果及讨论第31-32页
    · 吸附热力学研究第32-33页
    · 量子化学计算第33-35页
  · 本章小结第35-37页
第4章 蛋氨酸衍生物的合成及性能评价第37-51页
  · 引言第37页
  · 蛋氨酸衍生物的合成第37-40页
    · 实验仪器与药品第37-38页
    · 合成步骤第38-39页
    · 产物结构第39-40页
  · 蛋氨酸及其衍生物性能评价第40-49页
    · 失重测试结果与讨论第40-41页
    · 电化学方法测试结果与讨论第41-44页
    · 缓蚀表面形貌观察及讨论第44-45页
    · X射线光电子能谱结果及讨论第45-46页
    · 吸附热力学研究第46-47页
    · 量子化学计算第47-49页
  · 本章小结第49-51页
第5章 组氨酸二聚体的合成及性能评价第51-65页
  · 引言第51页
  · 组氨酸二聚体的合成第51-54页
    · 实验仪器与药品第51-52页
    · 合成步骤第52-53页
    · 产物结构第53-54页
  · 组氨酸及其二聚体性能评价第54-63页
    · 失重测试结果与讨论第54页
    · 电化学方法测试结果与讨论第54-58页
    · 缓蚀表面形貌观察及讨论第58-59页
    · X射线光电子能谱结果及讨论第59-60页
    · 吸附热力学研究第60页
    · 量子化学计算第60-63页
  · 本章小结第63-65页
第6章 结论与建议第65-67页
  · 结论第65-66页
  · 展望第66-67页
致谢第67-68页
参考文献第68-73页
攻读硕士期间发表的论文及科研成果第73页

本篇论文共73页,点击这进入下载页面
 
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