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磁控溅射法制备p型透明导电二氧化锡薄膜
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磁控溅射法制备p型透明导电二氧化锡薄膜
论文目录
 
摘要第1-4页
Abstract第4-5页
目录第5-8页
第一章 绪论第8-28页
　　· 引言第8-9页
　　· SnO_2薄膜的特性第9-11页
　　　　· SnO_2薄膜的晶体结构第9-10页
　　　　· SnO_2薄膜的光电特性第10页
　　　　· SnO_2薄膜的气敏特性第10-11页
　　　　· SnO_2薄膜的湿敏特性第11页
　　· SnO_2薄膜的应用第11-14页
　　　　· SnO_2薄膜在气敏材料上的应用第11-12页
　　　　· SnO_2薄膜在电子工业上的应用第12-14页
　　　　　　· SnO_2电热膜第13页
　　　　　　· SnO_2透明导电膜第13页
　　　　　　· SnO_2薄膜电阻器第13-14页
　　　　　　· 太阳能电池第14页
　　　　· SnO_2薄膜在玻璃工业上的应用第14页
　　· SnO_2薄膜的制备方法第14-21页
　　　　· 溶胶凝胶法(Sol-Gel)第15-16页
　　　　· 喷涂热解法(Spray Pyrolysis)第16页
　　　　· 化学气相沉积法(CVD)第16-18页
　　　　· 物理气相沉积法(P VD)第18-21页
　　　　　　· 真空蒸发工艺第18页
　　　　　　· 射频溅射法(RF Sputtering)第18-19页
　　　　　　· 直流磁控溅射法(Dc Magnetron Sputtering)第19-20页
　　　　　　· 脉冲激光沉积法(Pulsed Laser Deposition)第20-21页
　　· 掺杂SnO_2薄膜的研究进展第21-26页
　　　　· SnO_2薄膜的n型掺杂第21-23页
　　　　　　· 掺氟的SnO_2(SnO_2:F)第21-22页
　　　　　　· 掺锑的SnO_2(SnO_2:Sb)第22页
　　　　　　· 掺磷的SnO_2(SnO_2:P)第22-23页
　　　　　　· 其他元素的掺杂第23页
　　　　· SnO_2薄膜的p型掺杂第23-26页
　　　　　　· p型掺杂机理第23页
　　　　　　· p型TCO材料掺杂的研究进展第23-26页
　　· 本文研究的目的及意义第26-27页
　　· 本章小结第27-28页
第二章 磁控溅射法制备薄膜及其表征第28-36页
　　· 磁控溅射的基本原理第28-30页
　　　　· 溅射法原理第28-29页
　　　　· 磁控溅射技术第29-30页
　　　　· 溅射薄膜的形成理论第30页
　　· 磁控溅射系统第30-31页
　　· 磁控溅射法制备薄膜第31-33页
　　　　· 靶材的制备第31-32页
　　　　· 衬底的选择与清洗第32页
　　　　· 薄膜的制备第32页
　　　　· 溅射成膜的影响因素第32-33页
　　　　· 薄膜的热处理第33页
　　· 薄膜的表征第33-35页
　　　　· 薄膜晶体结构的表征第33-34页
　　　　· 薄膜表面形貌、成分分析和膜厚的测试第34页
　　　　· 薄膜光学性能的测试第34-35页
　　　　· 薄膜电学性能的测试第35页
　　· 本章小结第35-36页
第三章 p型SnO_2:In透明导电薄膜的研究第36-52页
　　· 反应溅射法SnO_2:In薄膜的制备与表征第36-44页
　　　　· 实验设备第36页
　　　　· 溅射靶材的制备第36-37页
　　　　· 反应溅射法TIO薄膜的制备第37-38页
　　　　· 反应溅射法TIO薄膜的表征与分析第38-44页
　　　　　　· A组TIO薄膜的表征与分析第38-41页
　　　　　　· B组TIO薄膜的表征与分析第41-43页
　　　　　　· C组TIO薄膜的表征与分析第43-44页
　　· 热氧化法SnO_2:In薄膜的制备与表征第44-51页
　　　　· 实验设备第44页
　　　　· 溅射靶材的制备第44-45页
　　　　· 热氧化法TIO薄膜的制备第45页
　　　　· 热氧化法TIO薄膜的表征与分析第45-51页
　　　　　　· XRD对TIO薄膜的表征与分析第46-47页
　　　　　　· FESEM对TIO薄膜的表征与分析第47-48页
　　　　　　· TIO薄膜的光学性能表征与分析第48-49页
　　　　　　· TIO薄膜的电学性能表征与分析第49-51页
　　· 本章小结第51-52页
第四章 p型SnO_2:Ga透明导电薄膜的研究第52-57页
　　· SnO_2:Ga薄膜的制备第52-53页
　　　　· 实验设备第52页
　　　　· 溅射靶材的制备第52页
　　　　· SnO_2:Ga薄膜的制备与表征第52-53页
　　· SnO_2:Ga薄膜的表征结果与分析第53-56页
　　　　· TGO薄膜的晶体结构分析与成分分析第53-54页
　　　　· TGO薄膜的紫外可见吸收分析第54-55页
　　　　· TGO薄膜的电学性能分析第55-56页
　　· 本章小结第56-57页
第五章 掺Cu的SnO_2薄膜的研究第57-65页
　　· 掺Cu的SnO_2薄膜的制备第57-59页
　　　　· 实验设备第57-58页
　　　　· 溅射靶材的制备第58页
　　　　· 薄膜的制备第58-59页
　　· 掺Cu的SnO_2薄膜的晶体结构分析第59-61页
　　　　· 铜含量对SnO_2薄膜晶体结构的影响第59-60页
　　　　· 热氧化温度对掺铜SnO_2薄膜晶体结构的影响第60-61页
　　· 掺Cu的SnO_2薄膜的光学性能分析第61-62页
　　　　· 铜含量对SnO_2薄膜的光学性能的影响第61-62页
　　　　· 热氧化温度对SnO_2薄膜的光学性能的影响第62页
　　· 掺Cu的SnO_2薄膜的电学性能分析第62-63页
　　· 本章小结第63-65页
第六章 结论第65-66页
参考文献第66-74页
攻读硕士期间发表的论文第74-75页
致谢第75 页

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