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ZnO基透明导电薄膜的制备及应用研究
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ZnO基透明导电薄膜的制备及应用研究
论文目录
 
摘要第1-7页
Abstract第7-9页
目录第9-12页
第一章 绪论第12-26页
　　· 引言第12-13页
　　· ZnO的结构与性质第13-16页
　　　　· ZnO的基本结构与性质第13-14页
　　　　· ZnO的光电特性第14-15页
　　　　· ZnO的其他特性第15-16页
　　· ZnO中的点缺陷第16页
　　· ZnO基透明导电薄膜的制备方法第16-19页
　　　　· 磁控溅射(Magnetron-sputtering)第16-17页
　　　　· 脉冲激光沉积(PLD)第17页
　　　　· 化学气相沉积(CVD)第17-18页
　　　　· 喷雾热分解法(Spray Pyrolysis)第18页
　　　　· 溶胶-凝胶法(Sol-gel)第18-19页
　　· ZnO基透明导电薄膜的研究现状第19-21页
　　· ZnO基透明导电薄膜的应用第21-24页
　　　　· 太阳能电池第22-23页
　　　　· 气敏传感器第23页
　　　　· 红外反射膜第23页
　　　　· 其他应用第23-24页
　　· 本文的立题思路和研究内容第24-26页
第二章 实验设备及原理、薄膜制备及性能表征第26-32页
　　· 磁控溅射设备及原理第26-28页
　　　　· 磁控溅射设备第26-27页
　　　　· 磁控溅射原理第27-28页
　　· ZnO基透明导电薄膜的制备及其表征第28-32页
　　　　· ZnO基透明导电薄膜的制备第28-30页
　　　　· ZnO透明导电薄膜的性能表征第30-32页
第三章 AZO透明导电薄膜的性能优化第32-42页
　　· 正交实验设计简介第32-34页
　　　　· 正交表第32-33页
　　　　· 正交实验设计的安排第33页
　　　　· 正交实验设计的极差分析第33-34页
　　　　· 正交实验分析方法第34页
　　· 正交设计在ZnO基透明导电薄膜生长中的应用第34-40页
　　　　· 实验因素和水平的选取第34-35页
　　　　· 正交阵列的设定第35-36页
　　　　· 结果与分析第36-37页
　　　　· 最优薄膜性能表征第37-40页
　　· 本章小结第40-42页
第四章 AZO透明导电薄膜在太阳能电池中的应用第42-54页
　　· 晶硅太阳能电池简介及自制新型电池介绍第42-46页
　　　　· 晶硅太阳能电池及其原理简介第42-44页
　　　　· 新型结构太阳能电池介绍第44-46页
　　· AZO/Si结构的研究第46-52页
　　　　· 薄膜性能对比第46-47页
　　　　· AZO/Si结构退火前后形貌对比第47-48页
　　　　· AZO/Si结构退火前后I-V图谱对比第48-49页
　　　　· AZO/Si结构退火前后TEM图对比第49-50页
　　　　· AZO/Si结构退火前后的SIMS测试第50-52页
　　· 本章小结第52-54页
第五章 AZO透明导电薄膜在柔性沉底上的生长及其稳定性研究第54-72页
　　· AZO透明导电薄膜在PC衬底上的生长第55-65页
　　　　· Ar:O对AZO薄膜性能的影响第55-59页
　　　　· 溅射压强对AZO薄膜性能的影响第59-64页
　　　　· 本节小结第64-65页
　　· PC衬底上生长AZO薄膜的稳定性研究第65-72页
　　　　· AZO/PC在空气中的稳定性第65-66页
　　　　· AZO/PC在紫外光照射下的稳定性第66-67页
　　　　· AZO/PC在高温条件下的稳定性第67-71页
　　　　· 本节小结第71-72页
第六章 结论第72-74页
参考文献第74-84页
致谢第84-86页
个人简历第86-88页
攻读学位期间发表的学术论文与取得的其它研究成果第88页

本篇论文共88页，点击这进入下载页面。
 
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