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一种场致发射阴极工艺的研究
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一种场致发射阴极工艺的研究
论文目录
 
第1章 绪论第1-22 页
　　· 场致发射的概念第7-8 页
　　· 场致发射阴极的基本构成第8-12 页
　　　　· 场致发射阴极材料第8-9 页
　　　　· 场致发射阴极结构第9-12 页
　　· 场致发射阴极的发展概况第12-16 页
　　　　· 场致发射的发展特点第12-14 页
　　　　· 场致发射的国内研究状况第14-15 页
　　　　· 场致发射的国外研究状况第15-16 页
　　· 场致发射的优越性和应用前景第16-20 页
　　　　· 场致发射的优越性第16-18 页
　　　　· 场致发射的应用前景第18-20 页
　　· 本文研究的目的和主要工作第20-22 页
第2章 半导体场致发射理论的相关理论第22-36 页
　　· 引言第22-23 页
　　· 半导体的功函数第23-27 页
　　　　· 半导体的功函的概念第23-24 页
　　　　· 半导体的功函数与温度的关系第24-25 页
　　　　· 外电场对逸出功的影响——肖特基效应第25-27 页
　　　　· 外电场的渗透和半导体表面态对半导体功函数的影响第27 页
　　· 半导体锥尖场致发射电流方程的建立过程第27-34 页
　　　　· 半导体中的电子分布函数第27-28 页
　　　　· 半导体的能量分布函数(供给函数)N(W)第28-30 页
　　　　· 半导体的透射系数 D(W)第30-32 页
　　　　· 半导体的场致发射电流方程第32-34 页
　　· 场致发射阴极锥尖的电场强度第34-36 页
第3章 激光制备场致微锥工艺部分第36-41 页
　　· 激光打孔技术第36-37 页
　　　　· 激光打孔的特点第36 页
　　　　· 激光微加工装置第36-37 页
　　· 场致阴极制备工艺第37-38 页
　　· 微锥阵列的显微结构第38-41 页
第4章 聚合物微锥阵列的制备第41-50 页
　　· 聚合物微锥尺寸的确定第41-42 页
　　· 硅晶片的表面处理第42-43 页
　　　　· 初清洗第42 页
　　　　· 机械加工第42 页
　　　　· 再次清洗第42 页
　　　　· 化学腐蚀第42-43 页
　　· 镀膜工艺第43-45 页
　　　　· 本征SiO_2薄膜的制备第43-44 页
　　　　· SiCl_4/O_2流量比对薄膜沉积的影响第44-45 页
　　　　· 沉积温度对沉积薄膜的影响第45 页
　　· 试验工艺流程的确定第45-50 页
　　　　· 实验工艺流程第45-47 页
　　　　· 聚合物微锥阵列的制备第47-50 页
第5章 结论第50-51 页
　　· 总结第50-51 页
参考文献第51-57 页
作者在攻读硕士学位期间发表的学术论文第57-58 页
致谢第58 页

本篇论文共58页，点击这进入下载页面。
 
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