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多晶硅太阳电池关键技术研究
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多晶硅太阳电池关键技术研究
论文目录
 
独创性声明第1 页
学位论文版权使用授权书第2-3 页
摘要第3-4 页
Abstract第4-7 页
第一章 前言第7-17 页
　　· 人类利用能源的发展趋势第7-8 页
　　· 太阳能的利用第8-9 页
　　· 晶体硅太阳电池的发展概况第9-11 页
　　· 实验室对提高多晶硅太阳电池效率的研究概况第11-14 页
　　· 多晶硅太阳电池的工业生产流程第14-16 页
　　· 本论文的研究目的和研究内容第16 页
　　· 本论文的创新点第16-17 页
第二章 晶体硅太阳电池的基础理论第17-39 页
　　· 晶体硅太阳电池的工作原理第17-23 页
　　　　· 晶体硅太阳电池的工作原理概述第17-18 页
　　　　· 平衡 P-N结第18-19 页
　　　　· 非平衡 P-N结第19-21 页
　　　　· 光照下的 P-N结第21-23 页
　　· 太阳电池性能参数第23-25 页
　　　　· 短路电流第23 页
　　　　· 开路电压第23-24 页
　　　　· 填充因子第24 页
　　　　· 转换效率第24-25 页
　　· 太阳电池等效电路及电流电压关系第25-27 页
　　· 硅表面减反射及制绒原理第27-28 页
　　· 扩散原理第28-31 页
　　· 掺杂层的表征第31-33 页
　　· 方块电阻的测量第33-34 页
　　· 表面钝化原理第34-37 页
　　· 去周边第37-39 页
第三章 实验设计第39-48 页
　　· 扩散过程的有关问题第39-43 页
　　　　· 硅片的摆放第39 页
　　　　· 扩散源和石英管的使用第39-41 页
　　　　· 气体流量影响扩散效果第41 页
　　　　· 石英管和石英舟的饱和第41-42 页
　　　　· 背靠背扩散的特点第42-43 页
　　· 多晶硅清洗和表面织构第43-44 页
　　· 方块电阻的测量第44 页
　　· 多晶硅和单晶硅的扩散比较第44-45 页
　　· 氧化实验第45 页
　　· 对扩散和氧化均匀性的探讨第45-46 页
　　· 等离子体增强化学气相沉积 SiNx的研究第46 页
　　· 制太阳电池过程中扩散条件的探索第46-47 页
　　　　· 实验设计第46-47 页
　　　　· 对扩散条件的进一步探索第47 页
　　　　· PECVD制 SiNx减反射膜的扩散探索第47 页
　　· 等离子体刻蚀去周边的研究第47-48 页
第四章 实验结果及分析第48-66 页
　　· 酸绒面织构和碱绒面织构的实验结果及分析第48-52 页
　　· 方块电阻的测量结果和分析第52-53 页
　　· 单晶硅和多晶硅扩散比较的结果和分析第53-55 页
　　· 氧化对方块电阻的影响实验结果和分析第55-56 页
　　· 改进扩散和氧化均匀性的结果和分析第56-57 页
　　· 氮化硅膜的实验结果和分析第57-58 页
　　· 扩散条件的实验结果和分析第58-62 页
　　· 等离子体刻蚀实验结果和分析第62-66 页
第五章 结论和展望第66-68 页
　　· 结论第66 页
　　· 存在的问题和展望第66-68 页
参考文献第68-72 页
致谢第72 页

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