a-Si:H/c-Si薄膜生长的分子动力学模拟研究



a-Si:H/c-Si薄膜生长的分子动力学模拟研究

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a-Si:H/c-Si薄膜生长的分子动力学模拟研究

论文目录
摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-9页
第1章绪论	第9-17页
1.1 研究背景及意义	第9-11页
1.2 氢化非晶硅薄膜生长机理	第11-13页
1.3 薄膜生长的计算机模拟	第13-16页
1.4 本文工作	第16-17页
第2章分子动力学方法及分析技术	第17-26页
2.1 分子动力学方法简介	第17-20页
2.1.1 基本原理	第17页
2.1.2 势函数	第17-19页
2.1.3 温度控制方法	第19-20页
2.2 薄膜沉积生长的分子动力学模型	第20-21页
2.3 后处理分析技术	第21-26页
第3章晶硅(001)表面生长 a-Si:H 薄膜	第26-45页
3.1 引言	第26-27页
3.2 物理模型与模拟方法	第27页
3.3 衬底温度对薄膜结构的影响研究	第27-33页
3.4 基团入射动能对薄膜结构的影响研究	第33-40页
3.5 基团入射频率对薄膜结构的影响研究	第40-43页
3.6 本章小结	第43-45页
第4章晶硅(111)表面生长 a-Si:H 薄膜	第45-62页
4.1 引言	第45页
4.2 物理模型与模拟方法	第45-46页
4.3 衬底温度对薄膜结构的影响研究	第46-52页
4.4 基团入射动能对薄膜结构的影响研究	第52-58页
4.5 基团入射频率对薄膜结构的影响研究	第58-61页
4.6 本章小结	第61-62页
第5章薄膜结构的 Voronoi 多面体分析	第62-80页
5.1 引言	第62-63页
5.2 近邻 Voronoi 多面体结构分析	第63-68页
5.2.1 硅结构中 Voronoi 多面体拓扑特性分析	第63-65页
5.2.2 Voronoi 多面体度量特性分析	第65-68页
5.3 最近邻 Voronoi 多面体结构分析	第68-69页
5.4 次近邻 Voronoi 多面体结构分析	第69-79页
5.4.1 a-Si:H/c-Si(001)薄膜结构分析	第71-75页
5.4.2 a-Si:H/c-Si(111)薄膜结构分析	第75-79页
5.5 本章小结	第79-80页
第6章结论	第80-82页
致谢	第82-83页
参考文献	第83-88页
攻读学位期间的研究成果	第88页

本篇论文共88页，点击这进入下载页面。

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