纳米尺度铜薄膜疲劳行为及其尺寸效应



纳米尺度铜薄膜疲劳行为及其尺寸效应

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纳米尺度铜薄膜疲劳行为及其尺寸效应

论文目录
摘要	第1-6页
Abstract	第6-10页
第1章绪论	第10-26页
· 引言	第10-13页
· 研究背景	第10-12页
· 金属铜薄膜的应用	第12-13页
· 薄膜材料简介	第13页
· 薄膜的制备	第13-16页
· 金属材料疲劳研究现状	第16-20页
· 块体材料的疲劳	第16-17页
· 薄膜材料的疲劳	第17-20页
· 超细晶材料的疲劳	第20页
· 金属薄膜疲劳性能的测试	第20-23页
· 疲劳测试仪器	第20-22页
· 疲劳性能检测的加载方式	第22-23页
· 退火处理对材料性能的影响	第23页
· 本研究的意义及内容	第23-26页
第2章实验方法	第26-32页
· 引言	第26页
· 实验方法及原理	第26-29页
· 样品制备	第26-27页
· 铜薄膜的疲劳实验方法	第27-28页
· 疲劳寿命的表征	第28-29页
· 铜薄膜的退火处理	第29页
· 微观结构表征	第29-32页
· 扫描电镜表征	第30页
· 透射电镜表征	第30-31页
· X射线衍射分析	第31-32页
第3章制备态铜薄膜疲劳行为及其尺寸效应	第32-58页
· 引言	第32-33页
· 实验结果	第33-54页
· 制备态铜薄膜微观结构表征	第33-36页
· 不同厚度制备态铜薄膜疲劳性能	第36-40页
· 疲劳裂纹的SEM观察	第40-46页
· 疲劳开裂损伤观察	第46页
· 铜薄膜TEM观察	第46-54页
· 讨论与分析	第54-56页
· 本章小结	第56-58页
第4章退火态铜薄膜疲劳行为及其尺寸效应	第58-74页
· 引言	第58页
· 实验结果	第58-71页
· 退火处理对铜薄膜导电性能的影响	第58-61页
· 退火处理对铜薄膜晶粒取向的影响	第61-62页
· 退火态铜薄膜的疲劳性能	第62-63页
· 退火态铜薄膜疲劳损伤SEM观察	第63-65页
· 退火态铜薄膜的TEM观察	第65-71页
· 讨论与分析	第71-73页
· 本章小结	第73-74页
第5章结论	第74-76页
参考文献	第76-84页
致谢	第84页

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