CVD金刚石涂层电极气体法掺硼工艺研究



CVD金刚石涂层电极气体法掺硼工艺研究

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CVD金刚石涂层电极气体法掺硼工艺研究

论文目录
摘要	第1-6页
Abstract	第6-9页
图表清单	第9-12页
注释表	第12-13页
第一章绪论	第13-24页
· 研究背景与意义	第13-14页
· 金刚石简介	第14-18页
· 金刚石的结构及性质	第14-15页
· 掺硼金刚石电极的结构和性质	第15-18页
· 掺硼电极制备的研究现状和应用现状	第18-23页
· 掺硼电极制备的研究现状	第18-20页
· 掺硼电极的应用现状	第20-21页
· 掺硼金刚石电极表征技术	第21-23页
· 本文的主要研究内容	第23-24页
第二章掺硼金刚石电极的制备	第24-41页
· 实验设备与方法	第24-26页
· HFCVD 系统简介	第24-25页
· 制备方式	第25-26页
· 实验步骤	第26-28页
· 实验结果与分析	第28-37页
· 掺硼浓度的影响	第28-31页
· 碳源浓度的影响	第31-33页
· 生长温度的影响	第33-35页
· 生长气压的影响	第35-37页
· 双面方式沉积时金刚石涂层的生长速度	第37-39页
· 网状电极制备的初步尝试	第39-40页
· 本章小结	第40-41页
第三章掺硼金刚石电极应力与膜基结合性能研究	第41-56页
· 掺硼金刚石电极残余应力分析	第41-47页
· 热应力仿真	第41-46页
· 拉曼分析	第46-47页
· 掺硼金刚石电极膜基结合性能研究	第47-55页
· 膜基结合测定方法	第47-48页
· 喷砂影响	第48-52页
· 衬底材料影响	第52-54页
· 掺硼影响	第54-55页
· 本章小结	第55-56页
第四章掺硼金刚石电极的电化学性能	第56-65页
· 掺硼金刚石电极的电阻率研究	第56-57页
· 电阻率测量原理	第56页
· 实验结果与讨论	第56-57页
· 循环伏安法测试电极	第57-64页
· 循环伏安法原理	第59页
· 实验装置及步骤	第59-60页
· 电化学窗口研究	第60-61页
· 可逆性与稳定性研究	第61-63页
· 有机物催化电解研究	第63-64页
· 本章小结	第64-65页
第五章总结与展望	第65-67页
· 总结	第65-66页
· 展望	第66-67页
参考文献	第67-72页
致谢	第72-73页
在学期间的研究成果及发表的学术论文	第73 页

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