镍掺杂类金刚石碳复合薄膜的制备及其功能特性研究



镍掺杂类金刚石碳复合薄膜的制备及其功能特性研究

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镍掺杂类金刚石碳复合薄膜的制备及其功能特性研究

论文目录
摘要	第1-8页
Abstract	第8-10页
第1章绪论	第10-25页
· 类金刚石薄膜概述	第11-21页
· 类金刚石薄膜简介	第11-12页
· 类金刚石薄膜的制备	第12-16页
· 类金刚石薄膜的表征	第16-19页
· 类金刚石薄膜的性质、应用及存在的主要问题	第19-21页
· 电化学沉积DLC薄膜的研究现状	第21-23页
· 金属掺杂DLC纳米复合薄膜的场发射性能研究进展	第23-24页
· 本论文的选题依据和研究内容	第24-25页
第2章电化学沉积DLC及镍掺杂DLC复合薄膜的制备与表征	第25-33页
· 试验装置、原料及仪器	第25-26页
· 基底的预处理和薄膜的制备	第26页
· 薄膜的形成机理	第26-27页
· 薄膜的表征方法	第27页
· 薄膜的结构、成分及形貌表征	第27-32页
· 膜层厚度测量及表面形貌观察	第27-29页
· TEM分析	第29-30页
· XPS光谱分析	第30页
· Raman光谱分析	第30-32页
· 本章小结	第32-33页
第3章电化学沉积DLC及镍掺杂DLC复合薄膜的场发射特性研究	第33-41页
· 引言	第33页
· 类金刚石薄膜场发射机理	第33-36页
· 薄膜的制备和表征	第36页
· 薄膜的场电子发射性能测试	第36-37页
· DLC和Ni-DLC薄膜的场电子发射性能	第37-38页
· 讨论	第38-39页
· 本章小结	第39-41页
第4章退火处理对Ni-DLC复合薄膜微观结构及其性能影响	第41-52页
· 引言	第41-42页
· 实验部分	第42页
· 薄膜的表征方法	第42页
· 薄膜的结构、成分及形貌表征	第42-48页
· 薄膜的形貌观察	第42-46页
· XRD分析	第46页
· Raman光谱分析	第46-48页
· 样品的VSM表征	第48页
· 场电子发射性能研究	第48-51页
· 本章小结	第51-52页
结论	第52-54页
参考文献	第54-63页
致谢	第63-64页
附录A 攻读学位期间所发表的学术论文目录	第64 页

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