支撑梁有误差的力平衡式微加速度计性能研究



支撑梁有误差的力平衡式微加速度计性能研究

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支撑梁有误差的力平衡式微加速度计性能研究

论文目录
摘要	第1-7页
Abstract	第7-11页
第1章绪论	第11-19页
· 微机械电子系统概述	第11-12页
· 静电MEMS机电耦合特性研究概况	第12-14页
· 力平衡式微加速度计研究概况	第14-17页
· 本文研究的主要目标和内容	第17-19页
第2章常见MEMS结构的等效刚度推导	第19-33页
· 引言	第19-20页
· 系统的受力和变形分析	第20-32页
· 双端固支梁式平板电容系统	第20-24页
· 双端固支梁式微加速度计	第24-28页
· 双折叠梁式微加速度计	第28-32页
· 本章小结	第32-33页
第3章支撑梁误差对机电耦合特性的影响	第33-54页
· 引言	第33页
· 单边平板电容系统参数计算	第33-35页
· 单边平板电容的静电刚度效应	第35-37页
· 刚度定义	第35-36页
· 静电刚度分析	第36-37页
· 单边平板电容系统吸附效应	第37-49页
· 静态响应分析	第37-39页
· 静态吸附电压分析	第39-43页
· 动态吸附电压	第43-45页
· 动态响应分析	第45-49页
· 双边平板电容系统	第49-53页
· 电容值、静电力计静电力矩计算	第50-51页
· 静态吸附电压分析	第51-53页
· 本章小结	第53-54页
第4章支撑梁误差对微加速度计的性能影响	第54-69页
· 引言	第54页
· 微加速度计原理	第54-57页
· 弹簧—质量系统	第54-56页
· 电容检测	第56-57页
· 微加速度计静力平衡分析	第57-63页
· 电容、静电力及静电力矩计算	第58-62页
· 静力平衡分析	第62-63页
· 灵敏度及非线性误差分析	第63-65页
· 热残余应力等干扰力对微加速度计的性能影响	第65-68页
· 本章小结	第68-69页
总结与展望	第69-70页
致谢	第70-71页
参考文献	第71-76页
攻读硕士期间发表论文及科研成果	第76 页

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