原子力显微镜在Ge2Sb2Te5相变薄膜与纳米刻蚀加工中的应用研究



原子力显微镜在Ge₂Sb₂Te₅相变薄膜与纳米刻蚀加工中的应用研究

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原子力显微镜在Ge₂Sb₂Te₅相变薄膜与纳米刻蚀加工中的应用研究

论文目录
摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
引言	第8-9页
1 原子力显微镜	第9-25页
· 原子力显微镜的工作原理	第9-12页
· 原子力显微镜的工作模式	第12-14页
· 接触模式(Contact Mode)	第12-13页
· 非接触模式(Non-contact Mode)	第13页
· 轻敲模式(Tapping Mode)	第13-14页
· 其他模式	第14页
· 原子力显微镜的力-距离曲线	第14-15页
· 原子力显微镜的针尖展宽效应	第15-17页
· 原子力显微镜的应用	第17-25页
· 在生物医学领域的应用	第17-18页
· 在材料成像和测试中的应用	第18-19页
· 在电化学领域的应用	第19页
· 在高密度光存储中的应用	第19-22页
· 在纳米加工领域的应用	第22-25页
2 Ge_2Te_2Sb_5薄膜原子力显微镜的原位温控实验	第25-37页
· 相变光存储材料	第25页
· Ge_2Sb_2Te_5薄膜的相变存储原理	第25-26页
· 原子力显微镜的原位温控实验	第26-36页
· Ge_2Sb_2Te_5薄膜的制备	第26-27页
· 实验仪器和样品的测试	第27-28页
· 实验结果与讨论	第28-36页
· 小结	第36-37页
3 原子力显微镜的纳米刻蚀应用	第37-49页
· 纳米技术	第37页
· 基于AFM的机械刻蚀加工实验	第37-48页
· AFM探针的机械刻蚀原理	第37-38页
· 实验仪器和样品	第38-39页
· 结果与讨论	第39-48页
· 小结	第48-49页
结论	第49-50页
参考文献	第50-54页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况	第54-55页
致谢	第55-56 页

本篇论文共56页，点击这进入下载页面。

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