紫外纳秒激光直写铜膜微结构的研究



紫外纳秒激光直写铜膜微结构的研究

分类1：教育论文网→工业技术论文→无线电电子学、电信技术论文→光电子技术、激光技术论文→激光技术、微波激射技术论文→激光的应用论文
分类2：教育论文网→工业技术论文→一般工业技术论文→工程材料学论文→特种结构材料论文

紫外纳秒激光直写铜膜微结构的研究

论文目录
中文摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-8页
第一章绪论	第8-17页
1.1 激光直写技术	第8-9页
1.2 激光直写加工金属薄膜研究进展	第9-15页
1.3 课题研究的意义和主要内容	第15-17页
第二章紫外纳秒脉冲激光加工机理	第17-26页
2.1 激光与材料相互作用机理	第17-21页
2.1.1 金属对激光的反射与吸收	第17-19页
2.1.2 温度模型的建立	第19-21页
2.2 激光脉冲的能量与烧蚀点直径关系	第21-23页
2.3 累积效应对阈值的影响	第23-26页
第三章实验系统搭建	第26-42页
3.1 紫外纳秒脉冲激光器	第26-28页
3.2 光路系统	第28-30页
3.3 运动控制系统	第30-33页
3.3.1 PMAC的基本特点和功能	第31-32页
3.3.2 以PMAC为核心的运动控制系统设计	第32-33页
3.3.3 PMAC软件工具	第33页
3.4 三维位移台	第33-36页
3.5 上位机软件编写	第36-40页
3.5.1 软件开发环境	第36页
3.5.2 软件模块设置	第36-37页
3.5.3 软件人机交互界面设计	第37-40页
3.6 辅助设备	第40-42页
第四章紫外纳秒激光加工铜薄膜实验研究	第42-58页
4.1 单脉冲激光烧蚀铜膜	第42-50页
4.1.1 铜膜放置在焦平面时的单脉冲烧蚀实验	第42-44页
4.1.2 铜膜放置在焦平面外的单脉冲烧蚀实验	第44-50页
4.2 直线结构加工	第50-56页
4.2.1 铜膜放置在焦平面时的直线结构加工试验	第50-51页
4.2.2 铜膜放置在焦平面外的直线结构加工试验	第51-53页
4.2.3 系统参数对微结构边缘锯齿大小的影响	第53-55页
4.2.4 薄膜光栅制作	第55-56页
4.3 实验结果总结	第56-58页
第五章总结与展望	第58-60页
参考文献	第60-63页
发表论文和参加科研情况说明	第63-64页
致谢	第64-65页

本篇论文共65页，点击这进入下载页面。

更多论文
紫外纳秒激光直写铜膜微结构的研究
基于全相位FFT的无合作目标激光测距
激光诱导击穿光谱技术应用于石油录
基于光纤飞秒激光技术的相干合成获
一种转镜式激光扫描传感器关键技术
半导体激光器用高稳定性双路恒流源
新型掺Yb激光晶体光谱特性及其锁模
基于声光调制的激光功率稳定控制系
利用激光散射特性鉴别油品种类技术
LD泵浦全固态Yb:YAG陶瓷激光器研究
Nd³⁺掺杂氟化钙无序晶体
激光诱导击穿光谱技术算法与远程LI
半导体激光器与光硅通孔耦合特性的
近中红外波段全固态飞秒激光器研究
基于非线性偏振演化和新型可饱和吸
强激光远场辐射光学材料的热效应研
基于TDLAS技术的微弱信号处理电路设
模拟激光枪及其数据采集系统的设计
模拟激光射击系统的设计与实现
激光偏振态调制的Bell-Bloom光泵磁
飞秒强场中三态NaI分子波包运动的研
飞秒强场中三态k₂分子的
不锈钢薄片微小孔光纤激光回转打孔
线宽超窄的双波长光纤激光器研究
基于混合等离子体的纳米腔中激光定
可调谐多波长窄线宽光纤激光器机理
石墨烯锁模掺铒光纤激光器的研究
光子分子微盘中的单纵模激光出射
飞秒激光加工高深径比微孔的研究
调Q光纤激光器控制系统研究
激光空化微纳制造机理的数值及实验
金属—介质—半导体复合纳米结构光
狭缝光波导光耦合增强研究
基于F-P的光纤光栅解调系统的研究
光纤中矢量涡旋光束的产生
基于保偏光子晶体光纤中布里渊动态
用于全光纤CARS激发源的斯托克斯光
Zr掺杂Ti扩散铌酸锂光波导的实验研
光子晶体光纤输出超连续光模式的研
光纤布拉格光栅的增敏封装及定位安
基于石墨烯D型光纤的光调控特性研究

激光铜膜微结构论文焦平面论文
版权申明：目录由用户lou5lo**提供，www.51papers.com仅收录目录，作者需要删除这篇论文目录请点击这里。
\| 设为首页\|\|加入收藏\|\|站内搜索引擎\|\|站点地图\|\|在线购卡\|
版权所有教育论文网 Copyright(C) All Rights Reserved