硅基光波导的结构优化及表面光滑化机理研究



硅基光波导的结构优化及表面光滑化机理研究

分类：教育论文网→工业技术论文→无线电电子学、电信技术论文→光电子技术、激光技术论文→波导光学与集成光学论文→光波导论文

硅基光波导的结构优化及表面光滑化机理研究

论文目录
摘要	第1-5页
abstract	第5-10页
第一章绪论	第10-26页
1.1 课题研究背景与意义	第10-14页
1.2 国内外研究现状	第14-21页
1.2.1 纳米光栅耦合器	第14-18页
1.2.2 波导表面光滑化处理	第18-21页
1.3 本文研究思路及关键技术问题	第21-23页
1.4 论文研究内容及结构安排	第23-26页
第二章硅基光栅耦合理论和波导表面光滑机理	第26-40页
2.1 光波导的耦合特性	第26-30页
2.2 硅基光栅的耦合理论	第30-35页
2.2.1 硅基光栅的衍射条件	第30-33页
2.2.2 硅基光栅耦合结构模型	第33-35页
2.3 表面粗糙度对波导传输损耗的影响	第35-39页
2.4 本章小结	第39-40页
第三章垂直耦合光栅结构优化设计	第40-56页
3.1 垂直耦合光栅的参数优化设计	第41-48页
3.1.1 OptiFDTD仿真环境	第41-43页
3.1.2 光栅结构参数耦合效率的影响	第43-47页
3.1.3 入射光参数对耦合效率的影响	第47-48页
3.2 垂直耦合光栅的耦合模式优化设计	第48-55页
3.2.1 垂直耦合光栅优化结构模型	第48-50页
3.2.2 添加后反射器的垂直耦合光栅	第50-52页
3.2.3 添加增透膜的垂直耦合光栅	第52-55页
3.3 本章小结	第55-56页
第四章 SOI硅基光波导表面光滑化	第56-72页
4.1 硅基波导表面光滑化模型构建	第56-62页
4.1.1 表面光滑化模拟的力场设定	第57-58页
4.1.2 表面光滑化模拟的系综选择	第58-59页
4.1.3 硅基光波导表面光滑化模型	第59-62页
4.2 硅氢键流密度法改善波导表面形貌的模拟研究	第62-67页
4.2.1 高温氢气氛围对波导表面形貌的影响	第62-63页
4.2.2 硅氢键个数对硅波导表面形貌的影响	第63-65页
4.2.3 硅氢键位置对硅波导表面形貌的影响	第65-67页
4.3 硅氢键流密度法改善波导表面形貌的实验验证	第67-71页
4.3.1 实验系统平台	第67-68页
4.3.2 实验测试结果	第68-71页
4.4 本章小结	第71-72页
第五章总结与展望	第72-74页
5.1 总结	第72-73页
5.2 展望	第73-74页
参考文献	第74-80页
致谢	第80-82页
攻读硕士学位期间发表的学术论文及所取得的研究成果	第82页

本篇论文共82页，点击这进入下载页面。

更多论文
硅基光波导的结构优化及表面光滑化
基于LCOS的计算全息近眼显示研究
弱形式求积元法计算裂纹尖端应力场
GaN功率器件的负压驱动电路研究与设
裂纹管动力学特性分析与识别技术研
TiO₂复合纳米膜电场条件
薄板孔边应力集中的尺度效应研究
图形衬底异质外延纳米岛应变弛豫机
功能材料切口奇性指数分析
表面微加工多晶硅薄膜热学特性及力
面向复杂工程系统监测数据的无损压
ZnO/MgO核壳量子点制备及其发光特性
非线性PWM反馈系统的P方指数稳定及
聚合物辅助沉积法制备纳米二硫化钼
向量优化问题的Newton型方法研究
激光辅助Ga滴迁移行为的研究
向量平衡问题的非线性标量化及其稳
表面等离子体共振腔超衍射极限成像
在优化理论中修正牛顿法的研究
半光滑广义方程的Josephy-牛顿算法
全包封产品的绝缘问题失效机理及改
半导体晶圆制造自动物料运输系统实
向量二层规划问题最优性条件与向量
聚焦离子束的微结构溅射刻蚀轮廓计
广义线性模型的理论及应用实例
面向半导体封装后测试的MES服务器端
结构突变单位根检验及其在时间序列
平稳遍历函数型数据非参数核估计的
10A/300V结势垒控制肖特基管的研制
随机缺失函数型平稳遍历数据的非参
基于LED和微纳导光膜的可见太阳光模
基于水溶性碲化镉量子点的LED器件制
位置参数变点的统计推断研究
半极性AlGaN材料的外延生长及表征
左截断右删失数据下指数分布变点的
高速高精度LED固晶目标识别定位系统
函数带误差的部分线性模型的约束统
复共线性及异方差线性模型中的参数
IGBT模块热阻测试方法及其退化估测
广义线性模型中的参数估计及变量选
IGBT模块电热特性测试试验研究
部分线性模型中差分估计与SCAD的比
IGBT模块的热应力分布及其与器件寿
半参数模型中有偏估计的进一步研究
IGBT功率模块电热参数的时间序列与
基于核估计的非参数ACD模型研究
IGBT模块通态电热特性退化试验研究

绝缘体上硅论文耦合光栅论文表面光滑化论文氢退火机理论文
版权申明：目录由用户chenguodong1**提供，www.51papers.com仅收录目录，作者需要删除这篇论文目录请点击这里。
\| 设为首页\|\|加入收藏\|\|站内搜索引擎\|\|站点地图\|\|在线购卡\|
版权所有教育论文网 Copyright(C) All Rights Reserved