基于双量化机电耦合∑△调制技术的MEMS角振动陀螺仪



基于双量化机电耦合∑△调制技术的MEMS角振动陀螺仪

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基于双量化机电耦合∑△调制技术的MEMS角振动陀螺仪

论文目录
摘要	第1-6页
ABSTRACT	第6-10页
第一章绪论	第10-17页
1.1 研究背景与意义	第10-11页
1.2 国内外研究概述	第11-16页
1.3 论文结构安排	第16-17页
第二章 MEMS角振动陀螺仪敏感单元	第17-26页
2.1 角速度检测基本原理	第17-22页
2.1.1 傅科摆与科氏效应	第17-19页
2.1.2 角速度检测的基本原理	第19-22页
2.2 MEMS角振动陀螺结构	第22-23页
2.3 MEMS角振动陀螺工艺	第23页
2.4 陀螺仪的主要性能指标	第23-25页
2.5 本章小结	第25-26页
第三章 SIGMA-DELTA调制器基本原理	第26-35页
3.1 ∑△ 调制器	第26-30页
3.1.1 量化器的准线性模型	第27-28页
3.1.2 过采样	第28-29页
3.1.3 噪声整形	第29-30页
3.2 机电耦合∑△调制器	第30-34页
3.2.1 二阶机电耦合∑△调制器	第30-32页
3.2.2 高阶机电耦合∑△调制器	第32-34页
3.3 本章小结	第34-35页
第四章双量化EM-SDM的理论分析与仿真	第35-44页
4.1 系统构架	第35-36页
4.2 基于AGC、PLL的驱动闭环	第36-38页
4.2.1 驱动闭环的条件	第36页
4.2.2 自动增益控制与锁相环	第36-38页
4.3 双量化机电耦合∑△调制器	第38-43页
4.3.1 环路结构与稳定性	第38-40页
4.3.2 噪声分析	第40-41页
4.3.3 多比特量化器位数	第41-42页
4.3.4 Simulink下的仿真分析	第42-43页
4.4 本章小结	第43-44页
第五章双量化EM-SDM的设计与实现	第44-54页
5.1 电路系统构架	第44-45页
5.2 模拟电路	第45-46页
5.3 反馈力生成过程中的频率混叠效应	第46-47页
5.3.1 频率混叠的原理分析	第46页
5.3.2 解决频率混叠的方法	第46-47页
5.4 寄生电容与反馈脉冲耦合	第47-49页
5.5 模态匹配	第49-50页
5.6 基于FPGA的数字信号处理	第50-53页
5.6.1 混合电路ADC与DAC	第50页
5.6.2 驱动环路控制	第50-52页
5.6.3 敏感环路控制	第52页
5.6.4 角速度信号解调与降采样滤波	第52-53页
5.7 本章小结	第53-54页
第六章性能测试与分析	第54-60页
6.1 测试方案	第54-55页
6.2 测试结果与性能分析	第55-59页
6.2.1 驱动模态幅度与相位稳定度	第55-56页
6.2.2 噪声整形特性	第56-57页
6.2.3 标度因子与线性度	第57-58页
6.2.4 零输出及其稳定性	第58-59页
6.3 本章小结	第59-60页
第七章总结与展望	第60-62页
7.1 总结	第60-61页
7.2 展望	第61-62页
参考文献	第62-65页
发表论文、专利情况	第65-66页
附录	第66-67页
致谢	第67-68页

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