基于N位旋转测量的光学平面绝对检测技术研究



基于N位旋转测量的光学平面绝对检测技术研究

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基于N位旋转测量的光学平面绝对检测技术研究

论文目录
摘要	第1-4页
Abstract	第4-7页
1 绪论	第7-13页
1.1 课题研究背景及意义	第7页
1.2 课题研究现状	第7-11页
1.3 本文研究工作	第11-13页
2 绝对检测技术的理论基础	第13-28页
2.1 常用的绝对检测法	第13-21页
2.1.1 传统三面互检法	第13-14页
2.1.2 Zernike多项式拟合法	第14-17页
2.1.3 奇偶函数法	第17-21页
2.2 基于N位旋转测量的绝对检测方法	第21-23页
2.3 仿真分析	第23-27页
2.3.1 基于N位旋转测量的绝对检测算法仿真	第23-24页
2.3.2 奇偶函数法原理仿真	第24-25页
2.3.3 误差分析	第25-27页
2.4 本章小结	第27-28页
3 元件中频误差的评价	第28-41页
3.1 PSD中频误差数据处理过程	第28-31页
3.2 空域处理方法	第31-37页
3.2.1 Quad-Flip技术	第32-34页
3.2.2 窗函数	第34-35页
3.2.3 窗函数补偿系数	第35-37页
3.3 误差函数滤波窗	第37-38页
3.4 系统误差影响仿真分析	第38-40页
3.4.1 系统误差对PSD1的影响仿真分析	第38-39页
3.4.2 系统误差对被测件塌陷曲线的影响仿真分析	第39-40页
3.5 本章小结	第40-41页
4 实验验证与数据分析	第41-58页
4.1 FizCam-2000EP动态干涉仪	第42-47页
4.1.1 相移干涉技术	第43-44页
4.1.2 FizCam-2000EP动态干涉仪技术原理	第44-46页
4.1.3 相位掩膜板探测阵列原理	第46-47页
4.2 绝对检测实验	第47-53页
4.2.1 实验	第47-48页
4.2.2 实验结果	第48-49页
4.2.3 实验重复性分析	第49-51页
4.2.4 对比实验	第51-53页
4.3 系统误差对元件中频PSD1的影响研究	第53-56页
4.3.1 N位旋转测量法对中频信息的恢复能力仿真	第53-55页
4.3.2 系统误差对元件中频误差影响实验	第55-56页
4.4 本章小结	第56-58页
5 全文总结及展望	第58-60页
5.1 主要研究成果	第58-59页
5.2 后续工作展望	第59-60页
致谢	第60-61页
参考文献	第61-64页
附录	第64页

本篇论文共64页，点击这进入下载页面。

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