PVD改性RB-SiC反射镜表面缺陷处理方法研究



PVD改性RB-SiC反射镜表面缺陷处理方法研究

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PVD改性RB-SiC反射镜表面缺陷处理方法研究

论文目录
摘要	第1-7页
Abstract	第7-9页
目录	第9-11页
第1章绪论	第11-17页
· 引言	第11-12页
· SiC 反射镜发展现状	第12-14页
· 表面改性 SiC 反射镜表面缺陷	第14-15页
· 本论文研究意义和主要内容	第15-17页
第2章表面改性 SiC 反射镜加工工艺方法介绍	第17-28页
· 引言	第17页
· SiC 材料的性质及常用种类	第17-20页
· SiC 反射镜改性技术简介	第20-22页
· SiC 反射镜加工工艺	第22-27页
· 本章小结	第27-28页
第3章 PVD 改性 RB-SiC 表面缺陷形成机理	第28-34页
· 引言	第28页
· 表面缺陷的定义	第28-29页
· 表面缺陷的形成机理	第29-32页
· 精抛光的物理、化学作用	第32-33页
· 本章小结	第33-34页
第4章缺陷的处理方法	第34-52页
· 引言	第34-36页
· Preston 方程的应用及材料去除效率数学模型的建立	第36-40页
· 依据 Preston 方程的研究方法及工艺优化	第40-48页
· 冲击力拟合曲线	第48-49页
· 结论及应用	第49-51页
· 本章小结	第51-52页
第5章结论及展望	第52-54页
· 研究结果与创新点	第52页
· 结论	第52-53页
· 展望	第53-54页
参考文献	第54-63页
在学期间学术成果情况	第63-64页
指导教师及作者简介	第64-65页
致谢	第65 页

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