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阳极掩膜微细电解加工微小群凹坑试验研究
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阳极掩膜微细电解加工微小群凹坑试验研究
论文目录
 
摘要第1-5页
Abstract第5-6页
1 绪论第9-20页
　　　　1.1 选题背景及研究意义第9-10页
　　　　1.2 微小群凹坑加工技术第10-16页
　　　　　　　　1.2.1 微细机械加工第10-11页
　　　　　　　　1.2.2 微细电火花加工第11-12页
　　　　　　　　1.2.3 激光微细加工第12-13页
　　　　　　　　1.2.4 超声加工第13-14页
　　　　　　　　1.2.5 微细电化学加工第14-16页
　　　　1.3 掩膜微细电解加工第16-18页
　　　　1.4 本文主要研究思路及内容第18-20页
2 电解加工理论基础第20-27页
　　　　2.1 电解加工相关理论第20-23页
　　　　　　　　2.1.1 电解加工基本原理第20页
　　　　　　　　2.1.2 电极电位的形成第20-21页
　　　　　　　　2.1.3 阳极极化曲线第21-22页
　　　　　　　　2.1.4 法拉第定律第22-23页
　　　　2.2 电解加工参数第23-24页
　　　　　　　　2.2.1 极间电压第23-24页
　　　　　　　　2.2.2 电流密度第24页
　　　　2.3 脉冲电解加工技术第24-26页
　　　　2.4 本章小结第26-27页
3 阳极掩膜微细电解加工群圆形凹坑第27-41页
　　　　3.1 阳极掩膜电解加工第27-31页
　　　　　　　　3.1.1 掩膜材料第27页
　　　　　　　　3.1.2 工艺流程第27-29页
　　　　　　　　3.1.3 夹具设计第29-31页
　　　　3.2 电场特性第31-34页
　　　　3.3 群圆形凹坑加工第34-40页
　　　　　　　　3.3.1 极间电压第34-35页
　　　　　　　　3.3.2 加工时间第35-36页
　　　　　　　　3.3.3 电流密度第36-39页
　　　　　　　　3.3.4 直径标准差第39-40页
　　　　3.4 本章小结第40-41页
4 阳极掩膜微细电解加工典型异形凹坑第41-58页
　　　　4.1 掩膜图形补偿法第41-44页
　　　　　　　　4.1.1 方孔掩膜的电场特性及成形形貌第41-43页
　　　　　　　　4.1.2 补偿后的电场特性及成形形貌第43-44页
　　　　4.2 群方形凹坑脉冲加工第41-52页
　　　　　　　　4.2.1 脉冲电解加工试验第45-47页
　　　　　　　　4.2.2 艺参数对凹坑成形的影响第47-52页
　　　　4.3 方形微凸台加工第52-54页
　　　　4.4 电解刻字第51-57页
　　　　4.5 本章小结第57-58页
结论第58-59页
参考文献第59-61页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况第61-62页
致谢第62-63

本篇论文共63页，点击这进入下载页面。
 
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