基于边界元法的矩形冗余填充耦合电容提取方法



基于边界元法的矩形冗余填充耦合电容提取方法

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基于边界元法的矩形冗余填充耦合电容提取方法

论文目录
摘要	第1-4页
Abstract	第4-7页
第一章绪论	第7-11页
· 研究的背景和意义	第7-8页
· 国内外研究现状及问题	第8-9页
· 论文的研究目标	第9-10页
· 论文的章节安排	第10-11页
第二章 CMP 冗余填充技术	第11-23页
· 化学机械抛光工艺	第11-15页
· 工艺简介	第11-12页
· 工艺描述	第12-13页
· 化学机械抛光机制研究	第13-14页
· 化学机械抛光缺陷	第14-15页
· 冗余金属填充技术	第15-20页
· 技术简介	第15-16页
· 接地和浮空	第16页
· 寄生效应的影响	第16-17页
· 冗余填充的优化	第17-18页
· 耦合电容计算方法	第18-20页
· 本章小结	第20-23页
第三章边界元法	第23-35页
· 三维电容提取方法	第23-25页
· 解析模型法	第23-24页
· 数值模拟法	第24-25页
· 边界积分方程	第25-28页
· 调和方程基本定解	第25-26页
· 泊松方程	第26-27页
· 格林公式	第27-28页
· 边界元法	第28-32页
· 边界元法简介	第28页
· 间接边界元法	第28-30页
· 直接边界元法	第30-32页
· 导体表面分块	第32-34页
· 本章小结	第34-35页
第四章用边界元法计算耦合电容	第35-53页
· 计算思想	第35-36页
· 基于边界元法的矩形冗余填充耦合电容提取方法	第36-45页
· 步骤描述	第37-42页
· 奇异点的问题	第42-43页
· GMRES(m)算法	第43-44页
· 电容公式	第44-45页
· 算例分析	第45-47页
· 耦合电容影响因素分析	第47-50页
· 特殊填充形状的计算方法	第50-52页
· 本章小结	第52-53页
第五章总结与展望	第53-55页
致谢	第55-57页
参考文献	第57-61页
研究成果	第61-62 页

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