静电驱动之微型环的稳定性分析



静电驱动之微型环的稳定性分析

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静电驱动之微型环的稳定性分析

论文目录
摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
符号说明	第8-10页
1. 绪论	第10-19页
· 微机电系统（MEMS）的概述	第10-12页
1.1.1 MEMS 的定义	第10-11页
1.1.2 MEMS 的应用与展望	第11-12页
1.2 MEMS 的国内外研究现状	第12-13页
· 国外的研究现状	第12-13页
· 国内的研究现状	第13页
1.3 MEMS 微驱动器	第13-16页
1.3.1 MEMS 驱动机制与性能比较	第13-15页
· 静电驱动器的优势与挑战	第15-16页
· 课题的意义及论文的研究内容	第16-19页
· 课题的意义	第16-17页
· 论文的主要内容及创新点	第17-19页
2. 微型环建模	第19-28页
· 引言	第19页
· 微型环系统数学建模	第19-23页
· 微型环系统的自然特性	第23-28页
3. 单点移动力作用下微型环的特性分析	第28-35页
· 引言	第28页
· 单点移动的简谐力作用	第28-32页
· 单点移动的力作用	第32-33页
· 小结	第33-35页
4. 静电力作用下微型环运动方程的推导	第35-47页
· 引言	第35页
· 单点移动的静电力作用	第35-43页
· 单点固定的静电力作用	第43-45页
· 小结	第45-47页
5. 单点移动静电力作用下微型环的特性分析	第47-68页
· 引言	第47-48页
· 系统的动态特性分析	第48-59页
· 直流偏压作用下系统的动态特性	第50-54页
· 交流偏压作用下系统的动态特性	第54-59页
· 系统的稳定性分析	第59-66页
· 稳定性概念	第59-64页
· 直流偏压作用下系统的稳定性	第64页
· 交流偏压作用下系统的稳定性	第64-66页
· 小结	第66-68页
6. 总结与展望	第68-71页
· 总结	第68-69页
· 未来展望	第69-71页
参考文献	第71-74页
致谢	第74-76页
附录 1 攻读学位期间发表的学术论文目录	第76-77 页

本篇论文共77页，点击这进入下载页面。

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