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基于二元光学的阵列位相环的设计与研究

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基于二元光学的阵列位相环的设计与研究
论文目录
 
摘要第1-5 页
Abstract第5-8 页
目录第8-10 页
第一章 绪论第10-15 页
  · 本课题的研究背景第10-11 页
  · 微细加工技术第11-14 页
  · 论文的主要内容第14-15 页
第二章 脉冲半导体泵浦固体激光整形方法第15-28 页
  · 半导体激光器第15-16 页
  · 脉冲半导体泵浦固体激光器第16-18 页
  · 激光整形技术方法第18-27 页
    · 时域整形技术第19-21 页
    · 空域整形技术第21-27 页
  · 总结第27-28 页
第三章 二元光学均匀器的设计第28-49 页
  · 二元光学理论及相关推导第28-41 页
    · 二元光学元件的衍射效率第29-32 页
    · 光束变化的相关原理第32-34 页
    · 应用MATLAB(?)仿真GS算法第34-35 页
    · 采用MATLAB(?)对GS算法的仿真第35-41 页
  · 阵列位相环匀光器第41-44 页
  · 阵列位相环的参数第44-45 页
  · 石英参数的选择第45-47 页
  · 总结第47-49 页
第四章 阵列位相环的模拟与制作第49-68 页
  · 阵列位相环的设计与模拟第49-51 页
  · 阵列位相环器的掩膜设计第51-57 页
    · 掩膜版的设计第51-53 页
    · 掩膜版的对准标记的设计第53-57 页
  · 石英加工的工艺流程第57-66 页
    · 石英基片的处理第58-59 页
    · 增粘剂第59 页
    · 光学曝光的方式第59-62 页
    · 蒸金属和剥离第62-63 页
    · 等离子刻蚀第63-66 页
    · 第二版第66 页
  · 总结第66-68 页
第五章 阵列位相环匀光器的测试第68-79 页
  · 阵列位相环元件的形貌第68-70 页
    · 元件照片第68-69 页
    · 显微镜下的照片第69-70 页
  · 实验检测装置第70 页
  · 电荷耦合器件CCD第70-71 页
  · 整形后激光波形的比较第71-74 页
  · 产生的误差分析第74-76 页
  · 试验效果第76-78 页
  · 总结第78-79 页
总结与展望第79-81 页
参考文献第81-86 页
致谢第86-87 页
攻读硕士学位期间发表的论文第87-88页

本篇论文共88页,点击这进入下载页面
 
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