90纳米CMOS图像传感器生产工艺优化—硕士毕业论文下载



90纳米CMOS图像传感器生产工艺优化

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90纳米CMOS图像传感器生产工艺优化

论文目录
摘要	第1-4页
ABSTRACT	第4-5页
第一章绪论	第5-12页
· 引言	第5-6页
· CMOS图像传感器的优点和发展	第6-12页
第二章 CMOS图像传感器工作原理简介	第12-19页
· 光电二极管简介	第12-13页
· CMOS图像传感器的发展	第13-17页
· CMOS图像传感器对生产工艺的要求以及本课题的方向	第17-19页
第三章 90纳米CIS浅沟槽隔离工艺优化	第19-29页
· STI工艺介绍	第19-24页
· STI沟槽顶角圆化的提出	第21-24页
· STI沟槽顶角圆化方法	第24-29页
· STI干法蚀刻工艺优化	第24-25页
· STI Linear Oxide Pre-clean工艺优化	第25-29页
第四章 90纳米CIS工艺层间介质层工艺优化	第29-37页
· 层间介质层工艺介绍	第29-30页
· 层间介质层工艺优化方法	第30-37页
· ILD CMP工艺优化	第31-33页
· ILD薄膜淀积工艺优化	第33-37页
第五章总结和展望	第37-39页
参考文献	第39-41页
致谢	第41-42 页

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