SiC中V含量的二次离子质谱分析研究



SiC中V含量的二次离子质谱分析研究

分类：教育论文网→工业技术论文→无线电电子学、电信技术论文→半导体技术论文→一般性问题论文→材料论文→化合物半导体论文

SiC中V含量的二次离子质谱分析研究

论文目录
摘要	第1-4页
ABSTRACT	第4-7页
第一章绪论	第7-14页
· 研究背景	第7-9页
· 研究进展和状况	第9-12页
· 本课题的意义和主要工作	第12-14页
第二章碳化硅半导体材料晶体结构及其性质	第14-21页
· 碳化硅材料的基本性质	第14-16页
· SiC 的结构特性	第14-15页
· SiC 的基本物理化学性能	第15-16页
· SiC 的光致发光	第16页
· 碳化硅材料的晶体结构	第16-18页
· 碳化硅材料的电学性质	第18-21页
第三章碳化硅半导体材料的制备工艺	第21-31页
· 碳化硅单晶生长	第21-27页
· Acheson 法	第21-22页
· LeIy 方法	第22-24页
· 籽晶升华方法	第24-27页
· 碳化硅的薄膜外延生长	第27-31页
第四章半绝缘SiC 的形成机理	第31-35页
· 半绝缘碳化硅的国内外研究现状	第31-32页
· 掺钒碳化硅单晶半绝缘特性补偿机理研究	第32-33页
· 碳化硅单晶均匀掺杂控制技术研究	第33-35页
第五章二次离子质谱（SIMS）分析技术及实验样品的制备	第35-44页
· SIMS 的发展历程	第35页
· SIMS 的工作原理	第35-39页
· 粒子溅射的级联碰撞与二次离子发射	第36页
· 粒子溅射的级联碰撞与二次离子发射	第36-37页
· CAMECA IMS 4F 的结构与性能	第37-38页
· SIMS 基本关系式	第38-39页
· SIMS 深度剖析	第39页
· SIMS 分析中常用的名词	第39-42页
· 浓度与原子密度	第39-40页
· 溅射产额	第40页
· 二次离子产率	第40页
· 溅射速率	第40页
· 基体效应	第40-41页
· 噪声本底	第41-42页
· 实验样品的制备	第42-44页
· 标样的制备	第42页
· 空白样品的制备	第42页
· 待测样品的制备	第42-44页
第六章 SIMS 实验研究方法分析及结论	第44-53页
· SIMS 深度分析条件的建立	第44-47页
· 一次离子束及其分析参数的选择	第44页
· 二次离子收集面积的选择	第44-45页
· 干扰峰的消除	第45-46页
· 轰击时间—溅射深度的转换与深度测量	第46-47页
· SIMS 定量分析方法	第47页
· 实验结果及其分析	第47-51页
· 离子注入样品的定量分析	第47-50页
· 本底检测结果分析	第50-51页
· 半绝缘样品的测试应用	第51-53页
· 半绝缘样品的SIMS 分析	第51页
· 本方法测试结果偏差的来源分析	第51-53页
第七章结论	第53-54页
参考文献	第54-57页
发表论文和参加科研情况说明	第57-58页
致谢	第58 页

本篇论文共58页，点击这进入下载页面。

更多论文
SiC中V含量的二次离子质谱分析研究
兰溪电厂工程桩竖向承载力的研究
PVT法生长SiC单晶中V掺杂行为研究
基于模糊综合评判法的建筑质量与经
大功率蓝光激光器的研究
灌芯砌块砌体力学性能试验研究及模
自动化快速测试方案的研究和应用
单钢管混凝土抗压构件力学性能研究
车载光电跟踪系统的设计与研究
电力花园1～#楼沉降预测与倾斜评价
热敏电阻局部化学镀铜制备良好欧姆
汽轮机低真空供热改造设计及运行分
两体系统在旋转磁场中的Berry相
强迫风冷封闭母线研究
宽带声光可调谐滤波器的设计及应用
刮板输送机驱动链轮齿形参数的仿真
掺杂SnO₂的电子结构、光
深部巷道变形机理及支护技术研究
钢板冷弯成形精度的分析与研究
Co，Cu掺杂ZnO稀磁半导体粉末的结构
提高锤头式破碎机刀齿使用寿命的研
土地荒漠化的环境影响经济评价研究
GPS在资源勘查控制测量与工程测量中
2000kN液压万能实验机智能化改造
阜新热电厂供热站温控系统的研究
基于DSP的矿井提升机变频调速系统研
基于CAN总线的新型智能节点的研究
胶带输送机监控系统设计的研究
ZnO量子点的表面修饰及发光性能研究
交流励磁变速恒频风力发电控制系统
彩色电泳显示微胶囊的制备
薄板弯曲问题的塑性铰线法应用研究
基于电荷泵型的白光LED驱动芯片设计
城市隐伏活断层破裂成灾的模型试验
低中频数字接收机的模数转换器的设
一种基于空间特征的图象检索方法研
基于ARM的H.264 & AVS联合解码器的
数据挖掘技术在学生成绩管理中的应
一种基于BOOST DC-DC的高压LED驱动
基于内容的视频检索技术研究
超高频无源RFID标签数字电路后端设
数据挖掘在地震预报中的应用研究
基于China-Core微控制器的MP3解码芯
钢结构住宅的技术与经济分析
一种高速低功耗位平面编码器的研究
煤矿开采对地下水污染的评价方法研
轨到轨CMOS运算放大器研究与设计
单螺杆空压机故障诊断
高速分频器研究
木城涧煤矿矿震监测定位系统的研究
我国上市公司资本结构影响因素研究
基于0.18μm RF CMOS工艺的ΔΣ小数
视频格式转换芯片总线控制单元的研
沈北大学城教师资源共享的机制与模
CMOS图像传感器中低功耗流水线ADC的
气动锚杆钻机的设计与研究
基于单片机控制的电子墨水显示性能
矿用圆环链在井下腐蚀机理及防护的
基于纳米压印技术的悬浮阵列生物芯
沸石的改性及其除磷性能研究
基于业务流程再造的煤矿物资信息系

碳化硅论文钒补偿 SIMS论文
版权申明：目录由用户wpjd**提供，www.51papers.com仅收录目录，作者需要删除这篇论文目录请点击这里。
\| 设为首页\|\|加入收藏\|\|站内搜索引擎\|\|站点地图\|\|在线购卡\|
版权所有教育论文网 Copyright(C) All Rights Reserved