4×4MEMS光开关阵列的设计与实验研究



4×4MEMS光开关阵列的设计与实验研究

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4×4MEMS光开关阵列的设计与实验研究

论文目录
第一章引言	第1-20页
· 全光网络与微型光开关概述	第9-14页
· 光开关的应用	第10-12页
· MEMS 光开关阵列	第12-13页
· MEMS 封装	第13-14页
· 国内外研究发展状况	第14-18页
· 微镜型光开关阵列	第14-16页
· 气泡光开关阵列	第16页
· 干涉仪型光开关	第16-17页
· 全息光开关	第17-18页
· 本论文的主要研究目标及任务	第18-20页
· 本论文的主要研究目标	第18页
· 本论文的主要任务	第18-20页
第二章光学设计与计算	第20-37页
· 准直器件的选择	第20-22页
· 高斯光学的基本原理与简化模型的建立	第22-23页
· 高斯光学	第22-23页
· 基于高斯光学的简化模型	第23页
· 耦合分析与设计计算	第23-29页
· 高斯光束出射后的分布	第23-24页
· 高斯光束的球透镜变换	第24-25页
· 高斯光束的与光纤的耦合	第25-27页
· 设计计算	第27-29页
· 其他损耗分析	第29-35页
· 微镜角度偏差引起的耦合损耗	第29-30页
· 球差损耗	第30-32页
· 反射镜与高斯光斑大小匹配引起的损耗	第32-33页
· 反射镜粗糙度引起的损耗	第33-35页
· 反射镜变形引起的损耗	第35页
· 菲涅尔损耗	第35页
· 本章小结	第35-37页
第三章光开关阵列的结构设计与工艺研究	第37-52页
· 结构设计	第37-41页
· 微镜及微梁的尺寸设计	第37-41页
· 整体结构设计	第41页
· 工艺实验	第41-47页
· 光开关加工工艺流程	第42-43页
· PSG 的生长与牺牲层腐蚀	第43页
· 隔离槽的剥落与金的图形化	第43-46页
· 金的钻蚀问题	第46-47页
· SU-8 微镜的垂直度与表面粗糙度分析	第47-50页
· 垂直度分析	第47-48页
· 粗糙度分析	第48-50页
· 本章小结	第50-52页
第四章静电驱动器力学特性的仿真计算与实验研究	第52-67页
· 仿真计算	第52-57页
· 微梁翘起高度及应力分布	第52-54页
· 模态分析	第54-55页
· ROM 方法及阈值电压的计算	第55-57页
· 实验研究	第57-66页
· 翘起高度的测量	第57-58页
· 频率测试	第58-63页
· 阈值电压的测量及分析	第63-66页
· 本章小结	第66-67页
第五章可靠性分析与封装设计	第67-77页
· 可靠性分析	第67-72页
· MEMS 可靠性试验	第67-68页
· MEMS 光开关的失效分析	第68-72页
· 可靠性设计	第72页
· 封装	第72-76页
· 采用球透镜的封装	第72-75页
· 采用准直器的封装	第75-76页
· 本章小结	第76-77页
第六章结论	第77-79页
参考文献	第79-83页
致谢	第83-84页
附录	第84-86页
个人简历	第86页

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