金属有机物化学气相沉积在线监测仪的研制



金属有机物化学气相沉积在线监测仪的研制

分类1：教育论文网→工业技术论文→无线电电子学、电信技术论文→半导体技术论文→一般性问题论文→材料论文→一般性问题论文
分类2：教育论文网→工业技术论文→自动化技术、计算机技术论文→自动化技术及设备论文→自动化系统论文→数据处理、数据处理系统论文

金属有机物化学气相沉积在线监测仪的研制

论文目录
摘要	第1-6页
Abstract	第6-10页
1 绪论	第10-15页
1.1 MOCVD 设备概述	第10页
1.2 MOCVD 在线监测仪概述	第10-11页
1.3 MOCVD 在线监测仪表的发展现状	第11-13页
· 本文研究的内容和论文安排	第13-15页
2 MOCVD 在线监测仪系统设计	第15-19页
2.1 MOCVD 腔体内结构	第15-17页
· 在线监测仪的测量方案	第17-18页
· 本章小结	第18-19页
3 双波长红外测温	第19-58页
· 红外测温原理	第19-25页
· 双波长测温方案	第25-28页
· 电路设计	第28-41页
· 修正算法研究	第41-43页
· 实验数据分析	第43-57页
· 本章小结	第57-58页
4 激光干涉膜厚测量	第58-70页
· 干涉法测量膜厚原理	第58-62页
· 电路设计	第62-68页
· 实验数据分析	第68-69页
· 本章小结	第69-70页
5 芯片翘曲度测量	第70-80页
· 翘曲产生的原因	第70页
· 翘曲度测量原理	第70-75页
· 翘曲度测量电路设计	第75-79页
· 本章小结	第79-80页
6 基于 ARM 的 uC/OS-Ⅱ 操作系统	第80-91页
· 在线监测仪的功能要求	第80-81页
6.2 uC/OS-Ⅱ 操作系统简介	第81-83页
6.3 基于 ARM 的 uC/OS-Ⅱ 系统架构	第83-90页
· 本章小结	第90-91页
7 总结与展望	第91-93页
· 全文总结	第91-92页
· 展望	第92-93页
致谢	第93-94页
参考文献	第94-98页
附录科研成果说明	第98 页

本篇论文共98页，点击这进入下载页面。

更多论文
金属有机物化学气相沉积在线监测仪
硅片台系统动力学与控制联合仿真
综合孔径微波辐射成像系统空变特性
伟达光电通讯公司的供应链管理研究
手机供应链终端应用商店运营模式研
集中参数定向耦合器的设计与实现
综合孔径微波辐射计信号处理实时性
单元级联型多电平高压变频器的研究
高速低功耗嵌入式SRAM的设计
可配置SHA-2系列算法和SHA-3（BLAK
基于粒子滤波器的视频目标跟踪
30MHz-90MHz跳频滤波器的设计与实现
面向大规模定制的通讯电源产品的柔
VHF前馈大功率线性放大器的研究与设
基于鉴频鉴相器和电荷泵的快速锁定
基于FSK的电力载波通信SoC芯片设计
CMOS可变增益放大器的研究和设计
优势视角下的亲子小组研究--以北川
学校小组工作方法介入行为偏差青少
苏州高职院校学研产结合模式的研究
中美大学生文化价值观的探索研究
在中国环境下的留学生学术适应研究
专业认同、职业期望与职业决策困难
人力资本与社会资本对大学生就业质
农民创业法制促进问题研究
人际关系网络中个体关系建模研究
社工对城中村中学生学业自我效能感
社工义工联动对社区邻里互助的介入
优势视角介入青少年抗逆力培养的实
企业社会工作服务项目评估--对深圳
女研究生的自尊对其身体外观态度的
一致性行为模式研究--Q寝室的个案研
农村留守老人养老问题研究--以湖北
基于文化定位的大学生饮酒现况调查
家庭环境对农村居民抑郁症状影响的
中国农村居民非商业白酒饮用情况调
随迁老人的社会融入状况及其影响因
首届社会工作专业硕士生对MSW教育的
社会文化变迁下的青年楷模媒介形象
社会个案工作方法介入青少年网络成
社区工作介入自管物业小区的研究--

MOCVD在线监测仪论文双波长红外测温论文膜厚测量论文翘曲度测量论文 uC/OS-II操作系统论文
版权申明：目录由用户jyj**提供，www.51papers.com仅收录目录，作者需要删除这篇论文目录请点击这里。
\| 设为首页\|\|加入收藏\|\|站内搜索引擎\|\|站点地图\|\|在线购卡\|
版权所有教育论文网 Copyright(C) All Rights Reserved