金属氮化物光谱涂层制备与性能研究



金属氮化物光谱涂层制备与性能研究

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金属氮化物光谱涂层制备与性能研究

论文目录
摘要	第1-7页
Abstract	第7-11页
1 绪论	第11-20页
· 选题背景及研究意义	第11-12页
· 国内外光谱涂层研究现状及发展	第12-19页
· 太阳能光谱选择性吸收涂层的基本概念	第12-13页
· 太阳能光谱选择性吸收涂层的基本原理	第13-15页
· 太阳能光谱选择性吸收涂层的制备方法	第15-19页
· 论文的研究内容和目标	第19-20页
2 实验装置和实验方法	第20-26页
· 薄膜制备方法	第20-21页
· 磁控溅射设备	第20页
· 基体材料及预处理	第20页
· 薄膜沉积工艺	第20-21页
· 薄膜分析检测方法	第21-26页
· 扫描电子显微分析	第21页
· 透射电子显微镜分析	第21-22页
· X射线衍射分析	第22页
· X射线光电子能谱分析	第22-23页
· 俄歇电子能谱分析	第23页
· 原子力显微分析	第23页
· 椭圆偏振光法	第23-24页
· 薄膜的吸收率测量方法	第24页
· 薄膜的发射率测试方法	第24-26页
3 Ti_(1-x)Al_xN薄膜制备工艺与性能研究	第26-38页
· 制备工艺	第26页
· Ti_(1-x)Al_xN薄膜相结构	第26-27页
· Ti_(1-x)Al_xN薄膜微观形貌	第27-29页
· Ti_(1-x)Al_xN薄膜表面粗糙度	第29-30页
· Ti_(1-x)Al_xN薄膜耐高温性能	第30-31页
· Ti_(1-x)Al_xN薄膜光学性能	第31-37页
· 小结	第37-38页
4 AlN_x薄膜制备工艺与性能研究	第38-44页
· AlN_x薄膜制备工艺	第38-39页
· 氮氩比对AlN_x薄膜物相的影响	第39页
· 氮氩比对AlN_x薄膜表面形貌的影响	第39-40页
· 氮氩比对AlN_x薄膜沉积速率的影响	第40-41页
· 氮氩比对AlN_x薄膜光学透过率的影响	第41-42页
· AlN_x薄膜的光学性能	第42-43页
· 小结	第43-44页
5 光谱选择性吸收涂层优化设计与微观结构分析	第44-54页
· 多层膜优化设计	第44-46页
· 光谱涂层微观结构分析	第46-52页
· 膜层成分分析	第47-48页
· 微观结构分析	第48-52页
· 小结	第52-54页
6 光谱选择性吸收涂层热稳定性研究	第54-66页
· 空气中短期热稳定性研究	第54-60页
· 空气中长期热稳定性研究	第60-61页
· 在真空环境中热稳定研究	第61-65页
· 小结	第65-66页
结论	第66-67页
参考文献	第67-72页
在学研究成果	第72-73页
致谢	第73页

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