rf PECVD法在不锈钢表面沉积类金刚石碳膜的性能研究 |
论文目录 | | | 独创性声明 | 第1
页 | | 学位论文版权使用授权书 | 第3-4
页 | | 中文摘要 | 第4-5
页 | | ABSTRACT | 第5-8
页 | | 第一章 绪论 | 第8-20
页 | | · DLC膜概述 | 第8
页 | | · 类金刚石膜(DLC)的结构和分类 | 第8-10
页 | | · DLC的性质及应用 | 第10-15
页 | | · DLC的性质 | 第10-13
页 | | · DLC的应用 | 第13-15
页 | | · DLC薄膜的制备技术 | 第15-17
页 | | · 物理气相沉积(Physicalvapourdeposition,PVD) | 第15-16
页 | | · 化学气相沉积(Chemicalvapourdeposition,CVD) | 第16-17
页 | | · 类金刚石碳膜改性 | 第17-18
页 | | · 选题依据 | 第18-20
页 | | 第二章 RF-PECVD法制备类金刚石薄膜材料 | 第20-32
页 | | · RF-PECVD技术概述 | 第20-21
页 | | · RF-PECVD技术的原理 | 第21-25
页 | | · RF-PECVD技术的特点 | 第25
页 | | · 实验设备 | 第25-27
页 | | · 实验材料 | 第27
页 | | · 过渡层的制备 | 第27-28
页 | | · 实验前处理 | 第28
页 | | · rfPECVD法制备类金刚石薄膜 | 第28-30
页 | | · 工艺参数的选择 | 第30-31
页 | | · 本章小结 | 第31-32
页 | | 第三章 类金刚石薄膜的表征 | 第32-43
页 | | · 结构分析 | 第32-40
页 | | · 沉积膜的Raman谱表征 | 第32-35
页 | | · Raman光谱原理 | 第32-33
页 | | · 实验结果与讨论Raman | 第33-35
页 | | · X射线光电子能谱(XPS) | 第35-39
页 | | · 傅立叶变换红外透射光谱分析(FT-IR) | 第39-40
页 | | · 类金刚石薄膜的表面形貌分析 | 第40-41
页 | | · 本章小结 | 第41-43
页 | | 第四章 DLC膜的机械性能及摩擦学特性 | 第43-61
页 | | · 硬度分析 | 第43-48
页 | | · 纳米硬度测试的基本原理 | 第43-45
页 | | · 实验结果与讨论 | 第45-48
页 | | · 摩擦和磨损结果分析 | 第48-59
页 | | · 摩擦系数分析 | 第48-56
页 | | · 不同基底对摩擦系数的影响 | 第48-50
页 | | · 不同入射功率对摩擦系数的影响 | 第50-52
页 | | · 不同CH4、H2流量对摩擦系数的影响 | 第52-54
页 | | · 不同载荷对摩擦系数的影响 | 第54-55
页 | | · 不同磨损时间对摩擦系数的影响 | 第55-56
页 | | · 磨损结果分析 | 第56
页 | | · 影响摩擦磨损的其它因素 | 第56-57
页 | | · DLC薄膜的摩擦学机理研究 | 第57-59
页 | | · 结合力分析 | 第59
页 | | · 耐腐蚀性能测试 | 第59
页 | | · 本章小结 | 第59-61
页 | | 第五章 结论 | 第61-63
页 | | 参考文献 | 第63-70
页 | | 致谢 | 第70-71
页 | | 硕士期间发表论文情况 | 第71
页 |
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