投影式振镜扫描激光刻蚀控制算法及工艺研究



投影式振镜扫描激光刻蚀控制算法及工艺研究

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投影式振镜扫描激光刻蚀控制算法及工艺研究

论文目录
摘要	第1-5页
Abstract	第5-9页
1 绪论	第9-18页
· 引言	第9-11页
· 三维激光刻蚀系统的研究现状	第11-15页
· 本文主要研究内容与技术路线	第15-16页
· 论文主要创新点	第16-18页
2 基于FIDIA五轴机床的三维激光刻蚀系统运动学分析	第18-29页
· 前言	第18-20页
· FIDIA 五轴机床连杆间坐标变换原理	第20-24页
· 基于 FIDIA 五轴机床的三维激光刻蚀系统正向运动学分析	第24-26页
· 基于 FIDIA 五轴机床的三维激光刻蚀系统逆向运动学反解	第26-28页
· 本章小结	第28-29页
3 CAD模型与工件模具定位匹配算法	第29-37页
· 前言	第29-30页
· 三点定位匹配算法	第30-32页
· 四点定位匹配算法	第32-34页
· 四点定位匹配算法优化	第34-36页
· 本章小结	第36-37页
4 双振镜扫描畸变校正系统	第37-46页
· 双振镜扫描畸变来源与分类	第37-38页
· 基于双线性插值的振镜扫描校正算法	第38-39页
· 基于 FIDIA 五轴数控机床的双线性插值校正算法实现	第39-43页
· 振镜扫描校正的精度分析与实验验证	第43-45页
· 本章小结	第45-46页
5 投影式三维激光刻蚀精度及工艺研究	第46-57页
· 投影式三维激光刻蚀误差来源	第46-49页
· 投影式振镜扫描激光分层刻蚀误差模型	第49-51页
· 三维激光刻蚀中工件表面激光功率密度分布特性的研究	第51-54页
· 投影式振镜扫描三维激光刻蚀实验研究	第54-55页
· 本章小结	第55-57页
6 总结与展望	第57-59页
· 本文总结	第57-58页
· 展望与建议	第58-59页
致谢	第59-60页
参考文献	第60-64页

本篇论文共64页，点击这进入下载页面。

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