基于Parylene封装的“棒棒糖式”MEMS矢量水听器



基于Parylene封装的“棒棒糖式”MEMS矢量水听器

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基于Parylene封装的“棒棒糖式”MEMS矢量水听器

论文目录
摘要	第1-6页
Abstract	第6-10页
·绪论	第10-20页
· 课题的研究背景和意义	第10-12页
· 国内外研究现状	第12-17页
· 本课题主要研究内容	第17-20页
·基于Parylene的仿海豹胡须式封装	第20-33页
· 仿海豹胡须式封装设计	第20-22页
· 声压梯度特性分析	第22-26页
· Parylene封装对灵敏度和谐振频率影响分析	第26-32页
· Parylene封装对灵敏度影响分析	第27-28页
· Parylene封装对谐振频率影响分析	第28-29页
· Parylene薄膜疏水性对水听器谐振频率的影响机理	第29-32页
· 本章总结	第32-33页
·“棒棒糖式”高灵敏度结构	第33-44页
·“棒棒糖式”高灵敏度微结构设计	第33-35页
· 微结构灵敏度分析	第35-39页
· 频带分析	第39-43页
· 本章总结	第43-44页
·Parylene封装的“棒棒糖式”MEMS矢量水听器的制备	第44-54页
·“棒棒糖式”微结构	第44-48页
· Parylene薄膜封装	第48-53页
· 本章总结	第53-54页
·Parylene封装的“棒棒糖式”MEMS矢量水听器测试	第54-66页
· Parylene封装对于频率特性的优化	第54-60页
· 谐振频率	第54-57页
· 灵敏度-频率响应	第57-60页
·“棒棒糖式”高灵敏度结构测试	第60-63页
· 谐振频率	第61页
· 矢量水听器校准测试	第61-63页
· 绝缘特性和耐压测试	第63-65页
· 绝缘特性	第63-64页
· 耐压测试	第64-65页
· 本章小结	第65-66页
·总结与展望	第66-69页
· 工作总结	第66-67页
· 论文创新点	第67页
· 工作展望	第67-69页
参考文献	第69-76页
附录I 符号表	第76-78页
攻读硕士期间发表的论文及所取得的研究成果	第78-79页
致谢	第79-80页

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