烧结NdFeB表面磁控溅射陶瓷类薄膜防护性能的研究



烧结NdFeB表面磁控溅射陶瓷类薄膜防护性能的研究

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烧结NdFeB表面磁控溅射陶瓷类薄膜防护性能的研究

论文目录
摘要	第1-5页
Abstract	第5-9页
第一章绪论	第9-34页
· 钕铁硼永磁材料的发展	第9-11页
· NdFeB的制备方法	第11页
· 烧结钕铁硼的结构	第11-12页
· 烧结钕铁硼的腐蚀机理	第12-15页
· 烧结NdFeB的防腐蚀措施及现状	第15-32页
· 提高烧结NdFeB磁体本身抗蚀性能	第15-17页
· 烧结钕铁硼表面防护法	第17-21页
· 物理气相沉积技术及其在烧结钕铁硼防护中的应用	第21-32页
· 本文研究的目的、意义及主要内容	第32-34页
· 本文研究的目的、意义	第32-33页
· 课题研究的主要内容	第33-34页
第二章实验方法	第34-41页
· 实验材料	第34页
· 磁控溅射设备	第34-35页
· 试样前处理工艺	第35页
· 薄膜制备过程	第35-37页
· 分析测试方法	第37-41页
· 结构表征	第37页
· 腐蚀行为表征	第37-39页
· 力学性能表征	第39-41页
第三章磁控溅射Cr_2O_3陶瓷薄膜的结构和性能	第41-52页
· 无离子束辅助技术磁控溅射Cr_2O_3薄膜结构和性能	第41-46页
· 离子束辅助技术对Cr_2O_3薄膜结构和性能的改善	第46-50页
· 本章小结	第50-52页
第四章磁控溅射氧化物陶瓷薄膜的结构和性能	第52-59页
· 氧化物陶瓷类薄膜的形貌及结构	第52-55页
· 氧化物陶瓷类薄膜的性能	第55-57页
· 本章小结	第57-59页
第五章磁控溅射CrAlN陶瓷薄膜的结构和性能	第59-66页
· CrAlN薄膜中各元素含量及偏压对薄膜结构的影响	第59-63页
· CrAlN薄膜中Al含量及偏压对薄膜硬度和摩擦性能的影响	第63-64页
· 本章小结	第64-66页
第六章烧结NdFeB磁体磁控溅射防护的批量试制	第66-74页
· 研究物理气相沉积对磁体防护的目的	第66页
· 物理气相沉积磁体防护中需要解决的问题	第66-67页
· 物理气相沉积防护磁体在批量生产中的表现	第67-74页
· 主要事项	第67-68页
· 设备调试	第68-71页
· 批量生产中的镀膜及问题	第71-74页
第七章结论	第74-76页
参考文献	第76-84页
攻读硕士学位期间发表的论文及所取得的研究成果	第84-85页
致谢	第85-86页

本篇论文共86页，点击这进入下载页面。

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