半导体扩散工艺控制及数据处理系统的研制



半导体扩散工艺控制及数据处理系统的研制

分类1：教育论文网→工业技术论文→自动化技术、计算机技术论文→自动化技术及设备论文→自动化系统论文→自动控制、自动控制系统论文
分类2：教育论文网→工业技术论文→无线电电子学、电信技术论文→半导体技术论文→一般性问题论文→半导体器件制造工艺及设备论文

半导体扩散工艺控制及数据处理系统的研制

论文目录
摘要	第1-8页
Abstract	第8-10页
第一章绪论	第10-15页
· 半导体专用设备制造业的现状	第10-11页
· 我国半导体专用设备制造业的现状	第10页
· 高温氧化扩散炉的发展状况	第10-11页
· 扩散炉的基本结构	第11-12页
· 本课题的技术要求及主要研究内容	第12-15页
· 课题主要研究内容	第12-13页
· 课题主要技术要求	第13-15页
第二章扩散/氧化系统总体方案设计	第15-21页
· 扩散/氧化设备	第15-16页
· 扩散/氧化工艺	第16-19页
· 扩散/氧化系统硬件设计方案	第19页
· 扩散/氧化系统软件设计方案	第19-20页
· 本章小结	第20-21页
第三章扩散/氧化下位机系统设计	第21-27页
3.1 JC-A 温度检测模块	第22页
· 控制系统输入/输出单元	第22-23页
· 触摸屏操作界面的设计	第23-26页
· 本章小结	第26-27页
第四章 MSComm 控件应用及通信协议制定	第27-40页
4.1 MSComm 通信控件的安装	第27-29页
· 手动安装	第27-28页
· 自动安装	第28-29页
4.2 MSComm 的属性及事件	第29-31页
4.3 MSComm 串口通信的实现	第31-33页
· 通讯协议	第33-39页
· 从控制模块读数据	第34-37页
· 向控制模块写数据	第37-38页
· 状态控制命令	第38-39页
· 本章小结	第39-40页
第五章上位机数据处理系统设计	第40-53页
· 系统开发工具的选择	第40-42页
· 系统性能需求	第40页
· 开发语言的选择	第40-41页
· 数据库的选择	第41-42页
· 数据库的开发与设计	第42-45页
· 数据库设计	第42-44页
· 数据库的连接	第44-45页
· 上位机数据处理软件重要功能模块	第45-51页
· 数据处理模块	第45-47页
· 数据显示模块	第47-50页
· 数据保存模块	第50页
· 历史数据模块	第50-51页
· 上位机数据处理软件的安装	第51-52页
· 本章小结	第52-53页
第六章安装调试及结果分析	第53-57页
· 实验室调试过程	第53-54页
· 工作现场布置	第54-55页
· 现场安装要注意的问题	第55-56页
· 本章小结	第56-57页
结论	第57-58页
致谢	第58-59页
攻读硕士学位期间发表的学术论文	第59-60页
参考文献	第60-62页
附录	第62-67页
附图 1 控制系统—电源、RS-232、电磁阀接线图	第62-63页
附图 2 控制系统—输入模块接线图	第63-64页
附图 3 控制系统—4AD/2DA 接线图	第64-65页
附图 4 控制系统—输出模块接线图	第65-66页
附图 5 控制系统—JMC-A6 输入模块接线图	第66-67页
附图 6 控制系统—JC-A10 输入模块接线图	第67 页

本篇论文共67页，点击这进入下载页面。

更多论文
半导体扩散工艺控制及数据处理系统
甘东南地区两次8级历史疑难地震发震
地脉动在黄土地区厚覆盖层探测中的
地震作用下节理岩质边坡稳定性数值
武罐高速公路沿线地震地质灾害概率
青藏高原巴颜喀拉块体强震动力学过
基于有限台站的预警地震快速定位方
康县—武都断裂新活动性及其地震危
初至波旅行时层析成像（FAST）方法
华北地区现代强震地震地质灾害数据
上市公司盈利预测信息披露研究--以
含弹性元件新型分级筛的动力学分析
基于微观单胞模型的镍基单晶合金低
株洲百货公司服务营销策略研究
株洲市数字化城市管理研究
中小板上市公司股权激励与公司绩效
区域工业循环经济发展研究--以株洲
公司内部控制风险对审计收费的影响
风险导向审计下企业经济责任审计模
会计师事务所做大做强走出去与审计
VBM视角下上市公司业绩评价体系研究
人力资源视角下的财务报告研究
家族企业资本结构影响因素研究--基
网站质量对顾客忠诚影响的研究
第三方物流联盟中的机会主义行为及
城市轨道交通项目PPP融资模式风险管
青岛市旧城改造土地出让方式实证研
房地产企业内部控制信息披露影响因
我国上市公司自愿性信息披露实证研
基于新会计准则视角的上市公司关联
基于协整理论的地区房地产泡沫测度
小麦精播机器人路径规划研究
软卧车厢温度分区自控系统实现
基于半监督学习的入侵检测模型研究
数据挖掘在电子商务销售数据中的分
一种综合加权的词语语义相似度计算
基于半监督聚类的个性化搜索研究
高等学校本科教学评估信息系统的研
基于车辆计数的交通信号灯的控制研
关于城市标识系统的研究
基于LabVIEW的小麦精播机器人控制研
反激型多路开关稳压电源的设计
蓄热式生物质热解反应器研究与开发
U玻芯材PET空气间隙结构的保温性能
一种新型流化床换热器的理论与实验
建筑施工企业自主创新管理体系构建
供水管网的智能优化改扩建
简易逆作法中柱桩工作机理分析
双层柱面空腹网壳结构动力响应分析
嵌入式钢筋锈蚀监测传感器的研究
钢筋混凝土框架剪力墙结构位移角研
500Mpa钢筋混凝土高层多筒-框架结构
二次受力下CFRP布加固混凝土矩形柱
城市更新过程中历史建筑的商业功能
京杭运河（济宁段）沿岸景观保护与
当代复合型会展建筑交通空间设计研
容积率约束下居住区规划设计研究--
淄博矿务局历史建筑调查与保护研究
青岛市居住小区绿地人性化建设探析
变风量空调系统末端装置的控制与仿
基于横摆力矩控制的五轴全轮转向汽
驱动桥壳两端轴承孔同轴度及端面圆
桥上桥（立体交叉）现浇施工承载力
道路软基沉降计算与观测的问题分析
高速列车通风空调试验台的研制

扩散/氧化论文 Delphi7论文上位机论文数据处理论文温度检测论文 MSComm控件论文
版权申明：目录由用户luoqingfe**提供，www.51papers.com仅收录目录，作者需要删除这篇论文目录请点击这里。
\| 设为首页\|\|加入收藏\|\|站内搜索引擎\|\|站点地图\|\|在线购卡\|
版权所有教育论文网 Copyright(C) All Rights Reserved