铁酸锶和钛酸锶薄膜氧敏性能的研究



铁酸锶和钛酸锶薄膜氧敏性能的研究

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铁酸锶和钛酸锶薄膜氧敏性能的研究

论文目录
中文摘要	第1-4 页
英文摘要	第4-8 页
第一章文献综述	第8-28 页
· 研究背景	第8-10 页
· 应用于汽车的氧传感器类型	第10-15 页
· 氧化物半导体型传感器的种类	第15-16 页
· 三种传感器比较	第16-17 页
· 薄膜型氧化物半导体传感器的制备方法	第17-18 页
· 半导体氧化物氧敏原理	第18-22 页
· 氧化物半导体传感器的研究现状	第22-23 页
· 钛酸锶的晶体结构	第23-26 页
· 展望	第26-28 页
第二章问题的提出及研究思路	第28-30 页
· 问题的提出	第28 页
· 研究思路	第28-30 页
第三章实验过程	第30-33 页
· 实验原料	第30 页
· 配方设计	第30-31 页
· 工艺流程	第31 页
· 性能测试	第31-33 页
第四章结果与讨论	第33-49 页
· 铁酸锶薄膜的制备	第33-36 页
· 薄膜的扫描电镜分析(SEM)	第36-39 页
· 拉膜次数对铁酸锶氧敏性能的影响	第39-42 页
· 掺杂对铁酸锶的氧敏性能影响	第42-47 页
本章小结	第47-49 页
第五章双掺杂钛酸锶氧敏性能	第49-61 页
· 受主掺杂对钛酸锶氧敏性能的影响	第49-50 页
· 钛酸锶薄膜的制备	第50-53 页
· 钛酸锶SEM分析	第53-57 页
· 钛酸锶薄膜氧敏性能	第57-60 页
本章小结	第60-61 页
第六章电极对材料氧敏性能的影响	第61-63 页
第七章结论	第63-64 页
参考文献	第64-68 页
发表论文	第68-69 页
致谢	第69 页

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