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原子层沉积制备的HfO2高K栅介质材料特性研究
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原子层沉积制备的HfO2高K栅介质材料特性研究
论文目录
 
摘要第1-6 页
Abstract第6-7 页
目录第7-10 页
第1章 绪论第10-15 页
　　· 集成电路的发展第10-12 页
　　· 研究高K栅介质材料的意义第12-15 页
第2章 原子层沉积技术第15-25 页
　　· 引言第15 页
　　· 原子层沉积技术的原理第15-21 页
　　　　· ALD工艺流程第15-17 页
　　　　· ALD前驱体第17-18 页
　　　　· ALD的工艺窗口第18-19 页
　　　　· ALD自限制生长原理第19 页
　　　　· ALD工艺的优越性第19-20 页
　　　　· Savannah-100型原子层沉积系统第20-21 页
　　· 原子层沉积技术的应用第21-22 页
　　· 各种薄膜制备技术的比较第22-24 页
　　· 本章总结第24-25 页
第3章 RCA标准清洗工艺第25-27 页
　　· 硅片清洗的重要意义第25 页
　　· 硅片清洗的工艺原理第25 页
　　· RCA清洗工艺流程第25-27 页
第4章 真空蒸镀第27-29 页
第5章 基于LabVIEW设计的光电致发光测试系统第29-38 页
　　· 引言第29 页
　　· 硬件系统第29-32 页
　　　　· 设备连接第29-30 页
　　　　· 测量原理第30-32 页
　　· 软件设计第32-35 页
　　　　· GPIB通讯第32 页
　　　　· ActiveX控件第32 页
　　　　· 程序结构第32-35 页
　　· 光电测试第35-37 页
　　· 本章总结第37-38 页
第6章 硅衬底上原子层沉积HfO_2薄膜第38-55 页
　　· 引言第38-39 页
　　· 实验流程第39-42 页
　　　　· 硅片的RCA清洗第39 页
　　　　· 原子层沉积HfO_2薄膜第39-41 页
　　　　· HfO_2薄膜的高温热处理第41 页
　　　　· 真空蒸镀铝电极第41-42 页
　　· 薄膜测试原理第42-46 页
　　　　· 原子力显微镜(AFM)第42-43 页
　　　　· X射线光电子能谱(XPS)第43-45 页
　　　　· X射线衍射(XRD)第45-46 页
　　· 测试结果分析第46-54 页
　　　　· AFM测试结果分析第46-49 页
　　　　· XPS测试结果分析第49-52 页
　　　　· XRD测试结果分析第52 页
　　　　· Ⅰ-Ⅴ测试结果分析第52-54 页
　　· 本章总结第54-55 页
第7章 总结与展望第55-57 页
　　· 论文总结第55-56 页
　　· 未来展望第56-57 页
参考文献第57-62 页
攻读硕士期间发表的论文第62-63 页
致谢第63-64 页
个人简历第64-65 页

本篇论文共65页，点击这进入下载页面。
 
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