氧化镓基肖特基势垒二极管的研制



氧化镓基肖特基势垒二极管的研制

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氧化镓基肖特基势垒二极管的研制

论文目录
摘要	第1-8页
ABSTRACT	第8-13页
符号对照表	第13-14页
缩略语对照表	第14-17页
第一章绪论	第17-23页
1.1 引言	第17页
1.2 氧化镓的晶体结构和电学性质	第17-19页
1.2.1 晶体结构	第17-18页
1.2.2 电学性质	第18-19页
1.3 氧化镓的研究进展	第19-21页
1.3.1 氧化镓材料方面的研究进展	第19页
1.3.2 氧化镓器件方面的研究进展	第19-21页
1.4 氧化镓肖特基二极管研究意义	第21页
1.5 研究内容与结构安排	第21-23页
第二章器件物理以及模型	第23-35页
2.1 肖特基二极管的器件物理	第23-29页
2.1.1 原理与性质	第23-25页
2.1.2 正向特性	第25-28页
2.1.3 反向特性	第28-29页
2.2 仿真工具介绍与氧化镓材料的物理模型	第29-33页
2.2.1 仿真工具介绍	第29-31页
2.2.2 氧化镓材料的物理模型	第31-33页
2.3 本章小结	第33-35页
第三章氧化镓肖特基二极管的仿真研究	第35-49页
3.1 边缘终端技术	第35-37页
3.1.1 电场集中效应	第35-36页
3.1.2 各种边缘终端技术简介	第36-37页
3.2 基础结构的氧化镓肖特基二极管的设计与仿真	第37-41页
3.3 浮空金属环结构仿真与优化	第41-47页
3.3.1 浮空金属环与阳极间距对器件特性的影响	第41-43页
3.3.2 浮空金属环宽度对器件特性的影响	第43-45页
3.3.3 浮空金属环数量对器件特性的影响	第45-47页
3.4 本章小结	第47-49页
第四章氧化镓肖特基二极管的制备与测试	第49-71页
4.1 (AlGa)_2O_3肖特基二极管的研究	第49-62页
4.1.1 材料生长及其表征与器件制备	第49-52页
4.1.2 结果分析与参数提取	第52-59页
4.1.3 变温条件下肖特基二极管正向特性分析	第59-61页
4.1.4 材料生长温度的不同对器件反向特性的影响	第61-62页
4.2 浮空金属环结构氧化镓肖特基二极管的研究	第62-66页
4.2.1 器件版图设计与流片工艺流程	第63-64页
4.2.2 结果与讨论	第64-66页
4.3 平面结构氧化镓肖特基二极管的研究	第66-69页
4.4 本章小结	第69-71页
第五章总结和展望	第71-75页
5.1 全文总结	第71-72页
5.2 展望	第72-75页
参考文献	第75-79页
致谢	第79-81页
作者简介	第81-82页

本篇论文共82页，点击这进入下载页面。

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