基于二氧化钒的中红外等离子体天线调谐特性研究



基于二氧化钒的中红外等离子体天线调谐特性研究

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基于二氧化钒的中红外等离子体天线调谐特性研究

论文目录
摘要	第1-6页
abstract	第6-10页
第一章绪论	第10-23页
1.1 引言	第10-11页
1.2 二氧化钒材料介绍	第11-12页
1.3 研究工作的背景与意义	第12-14页
1.4 国内外研究现状	第14-20页
1.4.1 温控二氧化钒相变光学器件研究	第14-16页
1.4.2 电控二氧化钒相变光学器件研究	第16-20页
1.5 本设计的可行性分析	第20-22页
1.6 本论文的主要结论与创新	第22页
1.7 本论文的结构安排	第22-23页
第二章基于二氧化钒的中红外等离子体天线设计与仿真	第23-34页
2.1 表面等离子体激元原理	第23-28页
2.1.1 传播表面等离子体激元	第24-26页
2.1.2 局域表面等离子体激元	第26-28页
2.2 HFSS中天线模型构建与仿真	第28-33页
2.3 本章小结	第33-34页
第三章基于二氧化钒中红外等离子体天线的实验制备与性能测试	第34-52页
3.1 器件制备	第34-40页
3.1.1 电子束蒸发制备金属薄膜	第34-35页
3.1.2 PECVD制备二氧化硅薄膜	第35-37页
3.1.3 磁控溅射法制备二氧化钒薄膜	第37-38页
3.1.4 湿法光刻制备叉指金属天线	第38-40页
3.2 温度控制下器件的调制性能研究	第40-46页
3.2.1 温度控制系统	第41页
3.2.2 傅氏转换红外线光谱分析仪(FTIR)	第41-42页
3.2.3 FTIR外部光路系统	第42-43页
3.2.4 温控调制性能测试与分析	第43-46页
3.3 电压控制下器件的调制性能研究	第46-51页
3.3.1 电压控制系统	第46-47页
3.3.2 电控调制性能测试与分析	第47-51页
3.4 本章小结	第51-52页
第四章二氧化钒相变调谐机理分析	第52-57页
4.1 电控测试中器件的温度场模拟	第52-55页
4.1.1 COMSOL中的模型设计	第52-53页
4.1.2 模型仿真分析	第53-55页
4.2 温度调制与电压调制过程对比分析	第55页
4.3 本章小结	第55-57页
第五章全文总结与展望	第57-60页
5.1 全文总结	第57-58页
5.2 后续工作展望	第58-60页
致谢	第60-61页
参考文献	第61-66页
攻读硕士学位期间取得的成果	第66页

本篇论文共66页，点击这进入下载页面。

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