基于TiO
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薄膜的电阻开关特性研究
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基于TiO
2
薄膜的电阻开关特性研究
论文目录
摘要
第1-6页
ABSTRACT
第6-11页
第1章 文献综述
第11-30页
· 引言
第11页
· TiO_2的基本性质
第11-13页
· TiO_2薄膜的应用
第13-14页
· 光催化剂
第13页
· 传感器
第13页
· 光电解水制氢
第13页
· 染料敏化太阳能电池
第13-14页
· 电阻式存储器原理及研究进展
第14-24页
· 电阻式存储器工作原理及优点
第14-15页
· 电阻开关效应分类
第15-16页
· 电阻式存储器材料及其类型
第16-19页
· 电阻开关效应机制
第19-22页
· 电流传导机制
第22-24页
· TiO_2电阻开关的国内外研究现状
第24-26页
· TiO_2薄膜的制备工艺
第26-28页
· 化学气相沉积
第27页
· 离子束辅助沉积
第27页
· 溶胶-凝胶法
第27-28页
· 反应蒸发法
第28页
· 磁控溅射
第28页
· 本课题研究意义及研究内容
第28-30页
· 研究意义
第28-29页
· 研究内容
第29-30页
第2章 薄膜的制备及其表征技术
第30-38页
· 反应磁控溅射
第30-33页
· 反应磁控溅射原理
第30-31页
· 直流反应磁控溅射系统
第31-32页
· 射频反应磁控溅射系统
第32-33页
· 电子束蒸发
第33-34页
· 薄膜性能的表征
第34-37页
· X射线衍射(XRD)测试
第34-35页
· 薄膜光学性质的测试
第35-36页
· I-V特性曲线测试
第36页
· C-V特性及其高低电阻测试
第36-37页
· 本章小结
第37-38页
第3章 薄膜生长理论及TiO_2薄膜的制备
第38-43页
· 薄膜制备准备工作
第38-40页
· TiO_2薄膜的制备
第40页
· TiO_2 薄膜的沉积速率
第40-42页
· 本章小结
第42-43页
第4章 硅衬底上TiO_2薄膜的电阻开关特性研究
第43-61页
· 电阻开关现象初步研究
第43-45页
· 沉积时间对TiO_2薄膜性能的影响
第45-48页
· 沉积时间对TiO_2薄膜晶体结构的影响
第45-46页
· 沉积时间对TiO_2薄膜电阻开关特性的影响
第46-48页
· 氧含量对TiO_2薄膜性能的影响
第48-53页
· 氧含量对TiO_2薄膜晶体结构的影响
第49-51页
· 氧含量对TiO_2薄膜电阻开关特性的影响
第51-53页
· 退火温度对TiO_2薄膜性能的影响
第53-57页
· 退火温度对TiO_2薄膜晶体结构的影响
第54-55页
· 退火温度对TiO_2薄膜电阻开关特性的影响
第55-57页
· 退火温度对TiO_2薄膜高低电阻的影响
第57页
· n型和p型重掺硅上TiO_2薄膜的电阻开关性能比较
第57-58页
· 电阻状态保持特性研究
第58-59页
· C-V特性研究
第59-60页
· 本章小结
第60-61页
第5章 柔性电阻开关器件
第61-66页
· 引言
第61页
· SS/TiO_2/Pt/PET柔性电阻开关器件
第61-63页
· 柔性衬底上Pt金属膜的制备
第61页
· 晶体结构分析
第61-62页
· 电阻开挂特性分析
第62-63页
· SS/TiO_2/CdO/PET柔性透明电阻开关器件
第63-65页
· 柔性衬底上CdO薄膜的制备
第63页
· 晶体结构分析
第63-64页
· 光学性能分析
第64页
· 电阻开关特性分析
第64-65页
· 本章小结
第65-66页
第6章 结论
第66-67页
致谢
第67-68页
参考文献
第68-75页
附录
第75 页
本篇论文共
75
页,
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