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光纤光栅解调光子集成片上键合和单片集成硅基锗光源关键技术研究

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光纤光栅解调光子集成片上键合和单片集成硅基锗光源关键技术研究
论文目录
 
学位论文的主要创新点第1-4页
摘要第4-5页
ABSTRACT第5-10页
第一章 绪论第10-16页
  1.1 论文的研究目的和意义第10页
  1.2 国内外研究现状第10-15页
    1.2.1 光纤光栅解调技术第10-12页
    1.2.2 光子集成技术第12-13页
    1.2.3 片上键合技术第13页
    1.2.4 片上光源第13-15页
  1.3 论文的研究内容和章节安排第15-16页
第二章 光纤光栅解调及其光子集成器件设计第16-36页
  2.1 光纤光栅解调方法和原理第16-20页
    2.1.1 边缘滤波器解调法第16-17页
    2.1.2 可调谐F-P滤波解调法第17-18页
    2.1.3 非平衡M-Z干涉仪解调法第18-19页
    2.1.4 匹配光栅滤波解调法第19页
    2.1.5 阵列波导光栅解调法第19-20页
  2.2 阵列波导光栅解调光路光子器件第20-35页
    2.2.1 输入光栅耦合器第23-24页
    2.2.2 多模干涉耦合器第24-27页
    2.2.3 弯曲波导第27-28页
    2.2.4 阵列波导光栅第28-32页
    2.2.5 输出光栅耦合器第32-33页
    2.2.6 垂直腔面发射激光器第33-34页
    2.2.7 光电探测器第34-35页
  2.3 本章小结第35-36页
第三章 光子集成芯片的键合工艺及其测试第36-50页
  3.1 片上键合技术概述第36-39页
  3.2 芯片键合工艺实现第39-43页
    3.2.1 混合集成研究第39-41页
    3.2.2 片上键合实验第41-43页
  3.3 芯片光电性能测试第43-48页
    3.3.1 VCSEL光电性能测试第43-46页
    3.3.2 PD光电性能测试第46-48页
  3.4 本章小结第48-50页
第四章 光子集成芯片的温度解调实验第50-68页
  4.1 光子集成器件制作与测试第50-58页
    4.1.1 器件制作工艺流程第50-52页
    4.1.2 输入光栅耦合器测试第52-53页
    4.1.3 MMI耦合器测试第53-55页
    4.1.4 弯曲波导测试第55-56页
    4.1.5 阵列波导光栅测试第56-57页
    4.1.6 输出光栅耦合器测试第57-58页
  4.2 光纤光栅温度解调实验第58-66页
    4.2.1 阵列波导光栅集成微系统第59-60页
    4.2.2 光纤光栅解调实验环境第60-62页
    4.2.3 温度解调实验结果第62-66页
  4.3 本章小结第66-68页
第五章 硅基锗垂直腔面发射激光器第68-90页
  5.1 垂直腔面发射激光器概述第68-72页
  5.2 硅基锗VCSEL设计第72-86页
    5.2.1 DBR结构设计第72-78页
    5.2.2 量子阱设计与仿真第78-83页
    5.2.3 硅基锗VCSEL研究结果第83-86页
  5.3 硅基锗VCSEL制作工艺第86-88页
  5.4 本章小结第88-90页
第六章 总结与展望第90-92页
  6.1 论文工作总结第90-91页
  6.2 展望第91-92页
参考文献第92-96页
发表论文和参加科研情况第96-98页
致谢第98页

本篇论文共98页,点击这进入下载页面
 
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