新型苯并三氮唑衍生物的合成及其缓蚀性能的研究
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新型苯并三氮唑衍生物的合成及其缓蚀性能的研究
论文目录
摘要
第1-6页
Abstract
第6-10页
1 绪论
第10-17页
· 引言
第10页
· 缓蚀剂的定义与分类
第10-11页
· 缓蚀剂的定义
第10-11页
· 缓蚀剂的分类
第11页
· 缓蚀剂苯并三氮唑及其衍生物的国内外研究现状
第11-15页
· 苯并三氮唑作为铜缓蚀剂的早期研究
第12页
· 苯并三氮唑的缓蚀机理
第12-14页
· 苯并三氮唑的衍生物
第14-15页
· 杂环季铵盐缓蚀剂的国内外研究现状
第15页
· 本论文研究内容
第15-17页
· 本课题的研究意义
第15-16页
· 本文的主要研究内容
第16-17页
2 季铵盐的合成与表征
第17-36页
· 实验仪器和药品
第17页
· 合成方法
第17-21页
· 中间体的合成
第17-19页
· 季铵盐的合成
第19-21页
· 结构表征
第21-32页
· BMO的分子结构的表征
第21-22页
· CB分子结构的表征
第22-23页
· MBMA分子结构的表征
第23-24页
· BP分子结构的表征
第24-25页
· BQ分子结构的表征
第25-27页
· BM分子结构的表征
第27-28页
· BCP分子结构的表征
第28-29页
· BMPMA分子结构的表征
第29-30页
· BBMMA分子结构的表征
第30-32页
· 季铵盐的最佳合成条件的确定
第32-36页
· BP、BQ、BM、BCP、BBMMA的最佳合成条件的确定
第32-34页
· BMPMA的最佳合成条件的确定
第34-36页
3 单晶结构解析
第36-54页
· 单晶衍射数据的采集及结构解析
第36-38页
· 晶体结构描述
第38-54页
· BP的晶体结构
第38-41页
· BQ的晶体结构
第41-43页
· BM的晶体结构
第43-46页
· BCP的晶体结构
第46-48页
· BMPMA的晶体结构
第48-51页
· BBMMA的晶体结构
第51-54页
4 季铵盐的性能研究
第54-77页
· 实验仪器和药品
第54页
· 热稳定性分析
第54-57页
· 失重法测试
第57-63页
· 缓蚀剂浓度对缓蚀效率的影响
第58-59页
· 温度对缓蚀效率的影响
第59-61页
· 等温吸附模型
第61-63页
· 电化学测试
第63-74页
· BP的电化学测试
第63-67页
· BQ的电化学测试
第67-70页
· BMPMA的电化学测试
第70-72页
· BBMMA的电化学测试
第72-74页
· 表面形貌分析
第74-77页
5 结论
第77-78页
致谢
第78-79页
参考文献
第79-84页
附录A
第84-85页
附录B
第85-99 页
本篇论文共
99
页,
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。
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