基于潘式压电马达的毫米行程纳米位移台的研究



基于潘式压电马达的毫米行程纳米位移台的研究

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基于潘式压电马达的毫米行程纳米位移台的研究

论文目录
摘要	第1-6页
ABSTRACT	第6-10页
第一章绪论	第10-17页
1.1 精密定位技术	第10页
1.2 精密定位技术研究现状	第10-15页
1.2.1 微行程精密定位技术研究现状	第10-11页
1.2.2 大行程精密定位技术研究现状	第11-15页
1.3 论文的研究内容及组织结构	第15-17页
第二章 XY向纳米位移台机械结构设计	第17-29页
2.1 XY向纳米位移台机械结构总体设计	第17-20页
2.1.1 潘式压电马达步进原理	第17-18页
2.1.2 XY向纳米位移台机械结构总体设计	第18-20页
2.2 压电陶瓷	第20-23页
2.2.1 压电效应	第20-22页
2.2.2 叠堆型压电陶瓷	第22-23页
2.3 粘贴板的设计	第23-24页
2.4 光滑支撑块的设计	第24-26页
2.5 磁性座的设计	第26-28页
2.6 本章小结	第28-29页
第三章压电电压放大电路设计及上位机软件编程	第29-40页
3.1 压电陶瓷驱动方法	第29-30页
3.1.1 电压驱动方法	第29-30页
3.1.2 电流驱动方法	第30页
3.2 压电电压放大电路设计	第30-34页
3.2.1 集成运算放大器的选用	第31-32页
3.2.2 相位补偿	第32-34页
3.2.3 输入输出保护电路	第34页
3.3 压电电压放大电路测试	第34-36页
3.3.1 压电电压放大电路的噪声测试	第34-35页
3.3.2 压电电压放大电路的阶跃响应测试	第35-36页
3.4 上位机软件编程	第36-39页
3.4.1 安捷伦N1231B激光干涉仪信号处理卡	第36-37页
3.4.2 凌华PCI 6216V模拟输出卡	第37页
3.4.3 位移台步进软件设计	第37-39页
3.4.4 位移台步进软件测试	第39页
3.5 本章小结	第39-40页
第四章压电陶瓷叠堆特性检测及非线性修正	第40-51页
4.1 激光外差干涉测量法	第40-41页
4.2 剪切压电陶瓷叠堆微位移测量系统	第41-43页
4.3 剪切压电陶瓷叠堆特性检测实验	第43-45页
4.3.1 迟滞非线性特性检测	第43-44页
4.3.2 蠕变特性检测	第44-45页
4.4 剪切压电陶瓷块迟滞非线性修正	第45-49页
4.5 本章小结	第49-51页
第五章纳米位移台构建及实验验证	第51-60页
5.1 纳米位移台的构建	第51-53页
5.2 纳米位移台测控系统	第53-55页
5.3 纳米位移台单次步进实验	第55-58页
5.3.1 X方向单次步进实验	第55-57页
5.3.2 Y方向单次步进实验	第57页
5.3.3 纳米位移台耦合误差实验	第57-58页
5.4 纳米位移台 1 mm步进实验	第58-59页
5.5 本章小结	第59-60页
第六章总结和展望	第60-63页
6.1 论文总结	第60-61页
6.2 论文展望	第61-63页
参考文献	第63-67页
发表的学术论文	第67-68页
致谢	第68页

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