光反应型聚合物基微流体反应器的制备



光反应型聚合物基微流体反应器的制备

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光反应型聚合物基微流体反应器的制备

论文目录
摘要	第1-7页
ABSTRACT	第7-12页
第一章绪论	第12-27页
· 微反应器的概念与定义	第13-14页
· 微反应器的分类	第14-15页
· 气固相催化微反应器	第14页
· 液液相微反应器	第14页
· 气液相微反应器	第14-15页
· 气液固三相催化微反应器	第15页
· 微反应器的主要特征	第15-17页
· 微反应器的几何特性	第15页
· 微反应器内流体的传递特性和宏观流动特性	第15-16页
· 微反应器的优点	第16-17页
· 微反应器的制作材料和技术	第17-26页
· 半导体硅微细加工	第18页
· 微细电火花加工	第18页
· 高能粒子束加工	第18-19页
· LIGA技术	第19-20页
· UV-LIGA技术	第20-21页
· SU-8光刻胶	第21-24页
· 基于SU-8的UV-LIGA技术	第24-26页
· 本论文的研究意义及主要内容	第26-27页
第二章实验内容	第27-42页
· SU-8光刻胶工艺参数的优化	第27-31页
· 实验设计方案	第27-28页
· 实验试剂、设备和仪器	第28-29页
· 实验内容	第29-31页
· 优化SU-8光刻工艺的表征	第31-32页
· 分析表征仪器	第31页
· SU-8光刻样品的扫描电镜测试	第31-32页
· 微流道反应器的设计与制备	第32-34页
· 实验设计方案	第32-33页
· 实验试剂、设备和仪器	第33页
· 实验内容	第33-34页
· 光掩膜及相应微流道结构的表征	第34-35页
· 分析表征仪器	第34页
· SU-8光刻样品的扫描电镜测试	第34-35页
· SU-8微流体反应器的改性	第35-41页
· 实验设计方案	第35-36页
· 实验试剂、设备和仪器	第36页
· 实验内容	第36-41页
· 微流体反应器的改性结果	第41-42页
· 分析表征仪器	第41-42页
第三章结果与讨论	第42-60页
· SU-8光刻工艺的优化	第42-48页
· 前烘、曝光及后烘工艺参数的优化	第42-46页
· SU-8胶层厚度的变化及相应工艺参数的调整	第46-48页
· 微流体反应器的设计与制备	第48-56页
· 光掩膜的设计与制备	第48-49页
· 使用不同光掩膜所得SU-8微流道结构的表征	第49-50页
· 微流道的封盖	第50-56页
· 微流体反应器的改性	第56-58页
· 基体的选择与改性	第56页
· 微流体反应器的亲水化处理	第56-58页
· 微流体反应器的结构与功能	第58-60页
第四章结论	第60-61页
·SU-8光刻工艺的优化	第60页
·微流体反应器的制备	第60页
·微流体反应器的改性	第60页
·展望	第60-61页
参考文献	第61-64页
致谢	第64-65页
研究成果及发表的学术论文	第65-66页
作者简介	第66-67页
导师简介	第67-68页
附件	第68-69页

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