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新型硼碳氮薄膜的化学气相生长及其结构和性质

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新型硼碳氮薄膜的化学气相生长及其结构和性质
论文目录
 
摘要第1-6 页
ABSTRACT第6-8 页
ACKNOWLEDGEMENTS第8-9 页
CONTENTS第9-11 页
LIST OF TABLES第11-12 页
LIST OF FIGURES第12-14 页
CHAPTER 1 INTRODUCTION第14-25 页
  · Introduction of hBN film第14-20 页
  · Introduction of BCN film第20-23 页
  · Major work of my research第23-25 页
CHAPTER 2 FABRICATION AND CHARACTERIZATION OF HBN AND BCN THIN FILMS第25-37 页
  · Microwave plasma chemical vapor deposition (MPCVD) system第25-31 页
  · Fabrication of hBN and BCN Thin Films第31-33 页
  · Characterization第33-37 页
CHAPTER 3 OPTIMIZATION OF EXPERIMENTAL PARAMETERS FOR DEPOSITION OF HBN FILM第37-42 页
  · Effects of the working pressure第37-39 页
  · Effects of the deposition time第39-41 页
  · Conclusion第41-42 页
CHAPTER 4 STRUCTURE AND PROPERTIES OF BCN FILM第42-58 页
  · XPS第42-45 页
  · FTIR Spectra第45-46 页
  · SEM第46-48 页
  · TEM and EELS第48-50 页
  · Photoluminescence property of BCN film第50-55 页
  · Field emission property of BCN film第55-56 页
  · Conclusion第56-58 页
CHAPTER 5 STRUCTURE AND PROPERTIES OF BCN SPHERES第58-69 页
  · SEM第58-59 页
  · EELS第59-60 页
  · IR Spectra第60-61 页
  · Raman Spectra第61-64 页
  · Photoluminescence property of BCN spheres第64-67 页
  · Conclusion第67-69 页
CHAPTER 6 CONCLUSION第69-70 页
REFERENCE第70-77页

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