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纳米时栅误差分析与实验研究

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纳米时栅误差分析与实验研究
论文目录
 
摘要第4-5页
Abstract第5-8页
1 绪论第8-14页
  1.1 本文的研究背景,来源和意义第8-9页
  1.2 大量程纳米级精密位移传感器研究概况第9-11页
    1.2.1 光栅传感器第9-10页
    1.2.2 激光干涉仪第10-11页
  1.3 本文研究的主要内容第11-14页
2 时栅位移传感器测量原理及发展第14-24页
  2.1 时空转换理论第14-17页
  2.2 机械式时栅传感器第17-18页
  2.3 磁场式时栅传感器第18-20页
  2.4 纳米时栅传感器第20-21页
  2.5 本章小结第21-24页
3 纳米时栅误差分析第24-38页
  3.1 行波概述第24-26页
    3.1.1 行波的意义第24-25页
    3.1.2 行波的构造第25-26页
  3.2 纳米时栅传感模型第26-28页
  3.3 纳米时栅误差分析第28-36页
    3.3.1 驻波信号幅值不相等第28-30页
    3.3.2 驻波时间不正交第30-32页
    3.3.3 驻波空间不正交第32-34页
    3.3.4 驻波信号含有高频干扰第34-36页
  3.4 本章小结第36-38页
4 实验系统搭建第38-50页
  4.1 纳米时栅实验系统概述第38页
  4.2 实验平台搭建第38-39页
  4.3 系统硬件设计第39-44页
    4.3.1 模拟信号调理电路第40-41页
    4.3.2 FPGA数字处理电路第41-44页
  4.4 系统软件设计第44-49页
    4.4.1 数据处理与图像识别模块第44-45页
    4.4.2 快速傅立叶分析模块第45-47页
    4.4.3 自适应坐标系与曲线绘制模块第47-49页
  4.5 本章小结第49-50页
5 纳米时栅实验研究第50-62页
  5.1 传感器制作第50-51页
  5.2 系统稳定性实验第51-52页
  5.3 误差分析实验第52-57页
    5.3.1 幅值不相等第52-53页
    5.3.2 空间不正交第53-54页
    5.3.3 时间不正交第54-55页
    5.3.4 含有高频干扰第55-57页
  5.4 误差分离实验第57-60页
    5.4.1 静态误差分离修正第57-58页
    5.4.2 动态误差分离修正第58-60页
  5.5 本章小结第60-62页
6 总结与展望第62-64页
  6.1 总结第62-63页
  6.2 展望第63-64页
致谢第64-66页
参考文献第66-68页
个人简历、在学期间发表的学术论文及取得的研究成果第68页

本篇论文共68页,点击这进入下载页面
 
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