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硅基MEMS气体传感器研究
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硅基MEMS气体传感器研究
论文目录
 
摘要第1-6页
ABSTRACT第6-7页
符号对照表第12-13页
缩略语对照表第13-16页
第一章 绪论第16-24页
　　　　1.1 气体传感器的研究背景和意义第16页
　　　　1.2 气体传感器的发展与近况第16-18页
　　　　1.3 MEMS气体传感器的发展第18-22页
　　　　　　　　1.3.1 MEMS简介第18-19页
　　　　　　　　1.3.2 MEMS工艺技术第19-22页
　　　　1.4 本文研究的主要内容第22-24页
第二章 SnO_2气体传感器工作原理与分析第24-32页
　　　　2.1 SnO_2 气敏机理第24-26页
　　　　2.2 微热板简介第26-29页
　　　　　　　　2.2.1 微热板的工作原理第26-27页
　　　　　　　　2.2.2 微热板热量传导的理论分析第27-28页
　　　　　　　　2.2.3 微热板的基本种类和相关工艺第28-29页
　　　　2.3 气体传感器的特性指标第29-31页
　　　　　　　　2.3.1 灵敏度第30页
　　　　　　　　2.3.2 响应-恢复时间第30页
　　　　　　　　2.3.3 选择性第30页
　　　　　　　　2.3.4 稳定性第30-31页
　　　　　　　　2.3.5 加热功耗第31页
　　　　2.4 小结第31-32页
第三章 硅基MEMS气体传感器微热板仿真研究第32-58页
　　　　3.1 ANSYS热分析的模型设置第32-36页
　　　　3.2 微热板的仿真研究第36-45页
　　　　　　　　3.2.1 膜式微热板的稳态热分析第36-39页
　　　　　　　　3.2.2 悬浮式微热板的稳态热分析第39-41页
　　　　　　　　3.2.3 微热板绝缘层材料的研究第41-45页
　　　　3.3 悬浮式微热板参数的仿真研究第45-54页
　　　　　　　　3.3.1 悬臂与加热平台尺寸的影响第45-50页
　　　　　　　　3.3.2 加热电极尺寸研究第50-51页
　　　　　　　　3.3.3 悬浮式微热板结构优化第51-54页
　　　　3.4 新型单层绝缘层微热板研究第54-57页
　　　　3.5 小结第57-58页
第四章 硅基MEMS气体传感器的工艺制造第58-80页
　　　　4.1 微热板的平面工艺制造第58-62页
　　　　　　　　4.1.1 硅片的选择及清洗第58-59页
　　　　　　　　4.1.2 绝缘层的制备第59-60页
　　　　　　　　4.1.3 金属电极的制备第60-61页
　　　　　　　　4.1.4 加厚电极的制备第61页
　　　　　　　　4.1.5 刻蚀腐蚀窗口第61-62页
　　　　4.2 微热板的体工艺制造第62-69页
　　　　　　　　4.2.1 单晶硅的各向异性腐蚀第63-65页
　　　　　　　　4.2.2 TMAH腐蚀液实验研究第61-68页
　　　　　　　　4.2.3 正片体工艺加工第68-69页
　　　　4.3 气敏厚膜制备第69-74页
　　　　　　　　4.3.1 气敏元件制作第70-71页
　　　　　　　　4.3.2 气敏元件测试分析第71-73页
　　　　　　　　4.3.3 气敏厚膜涂覆第73-74页
　　　　4.4 气体传感器的测试与分析第74-78页
　　　　　　　　4.4.1 芯片的封装第74-75页
　　　　　　　　4.4.2 加热电极的温阻特性测试第75-76页
　　　　　　　　4.4.3 气体传感器的功率特性测试第76-77页
　　　　　　　　4.4.4 气体传感器的气敏测试第77-78页
　　　　4.5 小结第78-80页
第五章 总结与展望第80-82页
　　　　5.1 总结第80页
　　　　5.2 工作展望第80-82页
参考文献第82-86页
致谢第86-88页
作者简介第88-89页

本篇论文共89页，点击这进入下载页面。
 
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