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Cr-Al-N系涂层的成分与组织结构对其高温行为的影响
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Cr-Al-N系涂层的成分与组织结构对其高温行为的影响
论文目录
 
摘要第1-6页
Abstract第6-11页
第一章 绪论第11-23页
　　· 研究意义第11-12页
　　· Cr-Al-N硬质涂层的制备方法第12-15页
　　　　· 化学气相沉积法第12-13页
　　　　· 磁控溅射法第13页
　　　　· 空心阴极离子镀法第13-14页
　　　　· 多弧离子镀法第14-15页
　　· Cr-Al-N硬质涂层的研究现状及进展第15-21页
　　　　· Al含量对CrAlN涂层高温抗氧化性的影响第15-17页
　　　　· Cr-Al-N涂层组织结构的高温稳定性第17-19页
　　　　· 合金元素对CrAlN涂层高温抗氧化性的影响第19-20页
　　　　· 涂层结构对Cr-Al-N涂层氧化性能的影响第20-21页
　　　　· 目前存在的问题第21页
　　· 本课题的研究内容及创新点第21-23页
　　　　· 本课题研究的主要内容第21-22页
　　　　· 本论文研究的主要创新点第22-23页
第二章 试验设备和方法第23-29页
　　· 试验材料第23页
　　　　· 基体材料第23页
　　　　· 靶材第23页
　　· 镀膜设备第23-25页
　　　　· 镀膜设备特点第23-24页
　　　　· 阴极电弧靶布置方式第24-25页
　　· 涂层沉积基本工艺第25-26页
　　· 涂层测试与分析手段第26-29页
　　　　· 结合强度测定第26-27页
　　　　· 硬度的检测第27页
　　　　· 涂层表面形貌、成分、截面形貌成分及断口组织的观察第27页
　　　　· 涂层的物相检测第27页
　　　　· 涂层的高温抗氧化性能第27-29页
第三章 CrAlN三元涂层的制备及涂层微观组织第29-53页
　　· 纯金属靶制备CrAlN涂层的成分调制第29-39页
　　　　· 正交试验方案第29-30页
　　　　· 涂层沉积工艺第30页
　　　　· 正交试验结果分析第30-33页
　　　　· CrAlN涂层的成分调制第33-35页
　　　　· 成分对涂层微观组织的影响第35-39页
　　· 梯度结构CrAlN涂层的设计与制备第39-46页
　　　　· 成分梯度CrAlN涂层的结构设计第39-40页
　　　　· 梯度结构CrAlN涂层的制备第40-41页
　　　　· 涂层的表面形貌与成分分析第41-43页
　　　　· 涂层的截面形貌与结构表征第43-44页
　　　　· 涂层的XRD相结构分析第44-46页
　　· TiN中间层的CrAlN梯度涂层的设计与制备第46-51页
　　　　· TiN中间层的CrAlN梯度涂层的结构设计第46-47页
　　　　· TiN中间层的CrAlN梯度涂层的制备第47页
　　　　· 涂层的表面形貌与成分分析第47-48页
　　　　· 涂层的截面形貌与结构表征第48-51页
　　　　· 涂层的XRD相结构分析第51页
　　· 本章小结第51-53页
第四章 涂层成分及结构对涂层力学性能的影响第53-62页
　　· 涂层成分对涂层力学性能的影响第53-55页
　　· 涂层结构对涂层力学性能的影响第55-58页
　　　　· 涂层高温退火前的力学性能第55-56页
　　　　· 涂层高温退火后的力学性能第56-58页
　　· 涂层的断口形貌第58-60页
　　· 本章小结第60-62页
第五章 Cr-Al-N系涂层氧化行为研究第62-85页
　　· 涂层结构对涂层短时氧化行为的影响第62-69页
　　　　· CrAlN涂层试样随温度的氧化增重第62-63页
　　　　· CrAlN涂层短时氧化显微组织及氧化物相分析第63-69页
　　· 涂层结构对CrAlN涂层恒温氧化行为的影响第69-81页
　　　　· CrAlN涂层900℃恒温氧化增重动力学第69-71页
　　　　· 涂层恒温氧化的XRD物相分析第71-73页
　　　　· 涂层恒温氧化的表面形貌分析第73-76页
　　　　· 涂层恒温氧化的元素分布分析第76-81页
　　· 涂层恒温氧化机理分析第81-83页
　　· 本章小结第83-85页
全文结论与展望第85-87页
　　1 全文结论第85-86页
　　2 展望第86-87页
参考文献第87-91页
攻读硕士学位期间发表的学术论文第91-92页
致谢第92-93页
附件第93 页

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